في قاعة التصنيع، يمكن أن يؤدي حدوث اختلاف بمقدار 0.1 درجة مئوية أثناء عملية تسخين الفوتوريزست إلى تغيير في الأبعاد الحرجة للرقاقات بمقدار نانومترات. هذا ليس ضمن حدود التحمل المسموح بها، بل يعتبر فشلاً في الإنتاج. لذلك، صممنا مصابيح الأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة للتخلص من هذا العامل غير المستقر، بحيث تكون درجة التوحيد في مستوى الرقاقة ثابتة، وليست مجرد أمل.
المصدر الرئيسي للحرارة هو الأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، وذلك لأنها تسخن الرقاقة بسرعة، مع انخفاض في القصور الحراري. تتطابق خطوط الإشعاع مع طريقة امتصاص الفوتوريزست، بحيث تذهب الطاقة إلى الفيلم نفسه، وليس إلى الجسيمات الموجودة في الرقاقة. وبالتالي، يمكن الحصول على درجة توحيد في مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، حتى على رقاقات بأحجام 150/200/300 مم، كما أن استقرار درجة الحرارة أثناء عملية التسخين لا يتجاوز 0.5 درجة مئوية.
تم تصميم الغلاف الكوارتزي والمرايا بحيث يتم تقليل تكون الجسيمات، بحيث تظل نسبة الجسيمات في الغرفة النظيفة ثابتة في الفئات من 1 إلى 100. كما أن الأداء المستمر للمصابيح يصل إلى أكثر من 5,000 ساعة، مع انخفاض في شدة الإشعاع بنسبة أقل من 5%.
في وحدات الطباعة الضوئية، يعني ذلك وجود فترات تسخين أقصر، وبالتالي تقليل العيوب، بالإضافة إلى قدرة أفضل على التحكم في الأبعاد. كما أن دورات التسخين والتبريد السريعة تساعد في زيادة الإنتاج دون زيادة استهلاك الطاقة. كما أن استخدام الطاقة يقل لأن المصابيح تسخن الرقاقة نفسها، وليس الغرفة المحيطة بها.
تم تصميم الوحدات للعمل على مدار 24 ساعة في اليوم، ويمكن استبدال الوحدات بسهولة، بحيث لا يؤدي أي توقف غير مخطط له إلى توقف الخط الإنتاجي.
يمكن تركيب الوحدات بسهولة على القضبان القياسية، لكن يجب الانتباه إلى التوافق البصري وحماية الوحدات من التداخل الكهرومغناطيسي في المناطق الحساسة. كما يجب ربط الوحدات بأجهزة التحكم في درجة الحرارة الحالية، ثم التحقق من مستوى التسخين وفقًا لخصائص الفوتوريزست المستخدم.
يجب إجراء فحوصات دورية للمرايا وتنظيف الكوارتز، حتى يتم الحفاظ على درجة التوحيد على مدار السنين، وليس فقط لفترات قصيرة.