في غرفة التنظيف من الدرجة الأولى، يتم وضع رقاقة بحجم 300 مم على اللوح الساخن. يتم تحديد درجة حرارة المادة المستخدمة في عملية الطباعة بناءً على درجة الحرارة نفسها، وليس بناءً على تخمينات. فأي تغير بمقدار 2 درجة مئوية في درجة الحرارة قد يؤدي إلى تغيير في مواصفات الرقاقة، وبالتالي إتلاف الإنتاج الذي تم إنتاجه خلال أسبوع كامل. لذلك، قمنا بتصميم جهاز التسخين بالأشعة تحت الحمراء داخل الغرفة المفرغة، للتخلص من هذه المشكلة.
ما يهم في عملية التسخين يستخدم الجهاز مصادر إشعاع من الكوارتز لتوفير حرارة مباشرة، وذلك بسرعة فائقة. في المنطقة المستخدمة في العملية، تظل درجة الحرارة ثابتة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وتكون دقة التكرار بين المرات المختلفة 0.05 درجة مئوية. يتم صنع جسم الغرفة من فولاذ مقاوم للصدأ من نوع 316L، ويتم لحامه لتقليل انبعاث الغازات، كما أن الغرفة مصممة لتعمل في ظروف فراغ تصل إلى 10^-6 ميجابار. التصميم المتوافق مع معايير غرف التنظيف يضمن عدم تكوّن أي جسيمات، حتى بعد 5,000 ساعة من العمل عند درجة حرارة 250 درجة مئوية. كما أن الجهاز يحتوي على أجهزة قياس حرارية ونظام تحكم يضمن استقرار درجة الحرارة خلال عملية التسخين.
لماذا يعمل هذا الجهاز في عملية معالجة المواد الحساسة للحرارة الحرارة المستخدمة في عملية التسخين محدودة للغاية. يوفر الجهاز درجات حرارة دقيقة خلال عملية التسخين، مما يساعد في تحقيق دقة عالية في مواصفات الرقاقة، وبالتالي تقليل الحاجة إلى إعادة العملية من جديد. كما أن الزمن اللازم لإتمام العملية قصير، واستخدام الطاقة منخفض. وبالتالي، يتم الحصول على نتائج متسقة في عملية إنتاج الرقاقات بحجم 200 مم و300 مم، مع تقليل النفايات وعدد مرات إعادة العملية، بالإضافة إلى إمكانية التخطيط لأوقات الصيانة بشكل أفضل.
ما يجب أخذه في الاعتبار يتطلب التركيب مطابقة شكل الغرفة مع خصائص المصدر الحراري، ثم ضبط الجهاز ليتناسب مع الحمل الحراري المطلوب. من المتوقع أن يتطلب الأمر فترة قصيرة لضبط إعدادات الجهاز. بمجرد ضبط الإعدادات، يعمل الجهاز بشكل مستقر، لكن يجب إجراء فحوصات دورية للمصدر الحراري كل ثلاثة أشهر، وإعادة ضبط الجهاز سنويًا للحفاظ على درجة الحرارة ضمن النطاق المطلوب.