MEMS লাইনে, তাপমাত্রার পরিবর্তন শুধু একটি প্যারামিটার নয়—এটি উৎপাদনের জন্য ক্ষতিকর। লিথোগ্রাফিতে, যদি আপনার সফট বেক বা হার্ড বেক একটি ডিগ্রির একটি অংশেও পরিবর্তন হয়, তাহলে আপনি ওয়াফার জুড়ে গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলি ছড়িয়ে দেন এবং ডিভাইসগুলি ট্র্যাক থেকে বের হওয়ার আগেই নষ্ট হয়ে যায়। আমরা এই বাস্তবতার জন্য আমাদের ইনফ্রারেড হিটার তৈরি করেছি।
যা গুরুত্বপূর্ণ তা হল পুনরাবৃত্তিযোগ্য তাপ, যা পরিষ্কারভাবে বিতরণ করা হয়। আমাদের শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার অ্যারে শক্তি সরাসরি ওয়াফারে, দ্রুত প্রেরণ করে, যাতে তাপীয় ল্যাগ ন্যূনতম থাকে। গরম অঞ্চলের মধ্যে, আমরা ওয়াফার-স্তরের একরূপতা ±0.1°C এর মধ্যে রাখি, তাই প্রতিটি ফটোরেজিস্ট বেক তাপীয় বাজেটকে স্পর্শ করে edge excursions ছাড়াই। হিটার বডি কোয়ার্টজ এবং উচ্চ-শুদ্ধতা সিরামিক দ্বারা নির্মিত, ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমের জন্য তৈরি। র্যাম্প-আপে কোনও কণা ফেটে যায় না, এবং গরম পৃষ্ঠ প্রক্রিয়ার বাতাসের প্রবাহ থেকে বিচ্ছিন্ন থাকে যাতে দূষণ বেরিয়ে যায়। এর ফলস্বরূপ ফটোরেজিস্ট প্রোফাইলগুলি স্থিতিশীল, পূর্বানুমানযোগ্য এবং লট থেকে লটে স্থানান্তরযোগ্য। নিয়ন্ত্রণ হল যা আপনাকে চলমান রাখে। সাব-সেকেন্ড তাপমাত্রার প্রতিক্রিয়া চক্রের সময়কে স্বল্প করে এবং ওয়াফারকে উর্ধ্বতন তাপমাত্রায় বসে থাকার সময় কমায়। শক্তির ব্যবহার কমে যায় কারণ তাপ চাহিদা অনুযায়ী আসে, ন্যূনতম স্ট্যান্ডবাই ক্ষতির সাথে। সিস্টেমটি 24/7 চলবে পরিকল্পিত অচলাবস্থার ছাড়াই, এবং এমিটার জীবনের 5,000+ ঘণ্টা সমর্থন করে আউটপুট ড্রিফটের আগে—স্পেয়ারগুলি নষ্ট হয়, রক্ষণাবেক্ষণের সময়সীমা সংকুচিত হয়। উন্নত পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা CD নিয়ন্ত্রণকে সংকীর্ণ করে এবং নষ্ট হওয়া কমায়। ইনফ্রারেড তাপ দৃশ্যপটের রেখায়। মাউন্টিং অ্যালাইনমেন্ট এবং রিফ্লেক্টর জিওমেট্রি চেম্বার এবং ওয়াফার পথের সাথে মেলাতে হবে। আমরা মাত্রার টেমপ্লেট এবং তাপীয় ক্লিয়ারেন্স মানচিত্র সরবরাহ করি, তবে ইন্টিগ্রেশন অপরিহার্য। যান্ত্রিক আবরণ এবং কুলিং পথকে আগেই পরিকল্পনা করুন, এবং হিটার প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয় যথার্থতা সরবরাহ করবে।