OLED লাইনে, শুকানো মানে থামানো নয়। এটা একটি নিয়ন্ত্রণ বিন্দু।
ওয়েফারগুলি রিন্স থেকে বেরিয়ে আসে এবং লিথোগ্রাফির আগে একটি স্থিতিশীল পৃষ্ঠ প্রয়োজন। ফটোরেজিস্ট যথেষ্ট শুকানো না হলে এজ বিড তৈরি হয়, এরপর ওভারলে ড্রিফট শুরু হয়। বেক অসমভাবে হলে লাইনের প্রস্থের বন্টন ছড়িয়ে পড়ে—ইয়িল্ড কমে যায়। আমরা আমাদের ইনফ্রারেড ড্রায়িং ল্যাম্পগুলো এমনভাবে তৈরি করেছি যাতে এই ভ্যারিয়েবিলিটি প্রক্রিয়া থেকে দূর হয়।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে যা গুরুত্বপূর্ণ
আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ইমিটার চালাই যার ফাস্ট-রেসপন্স ফিলামেন্ট এবং কুয়ার্টজ অপটিকস রয়েছে, সরাসরি ফটোরেজিস্ট স্তরে শক্তি প্রয়োগ করে। সিস্টেম বেক ফিল্ড জুড়ে ওয়েফার স্তরের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে ধরে রাখে, ফলে তাপীয় বাজেট লটে লট ঠিকঠাক থাকে।
সফট বেক প্রোফাইল ঘন ঘন একটি সংকীর্ণ পরিসরে পুনরাবৃত্তি করে এবং হার্ড বেক পরিবর্তন পরিষ্কার—কোনও ওভারশুট হয় না। ক্লিনরুমের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ: কম আউটগ্যাসিং উপকরণ, সিল করা হাউজিংস এবং নিয়ন্ত্রিত এয়ারফ্লো পাথ কণা উৎপাদন প্রায় শূন্যে রাখে।
কেন এটি OLED এর জন্য মানানসই
OLED স্ট্যাকগুলি পাতলা, সংবেদনশীল এবং সময়সূচী মাফ করে না। ল্যাম্পগুলো শুকানো এবং বেক সময় কমায়, কিন্তু প্রোফাইল অপরিবর্তিত থাকে, ফলে সাইকেল টাইম কমে যায় কিন্তু ফিল্মের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণে প্রভাব পড়ে না।
আমরা তাপমাত্রা সেই জায়গায় কেন্দ্রীভূত করি যেখানে প্রয়োজন, চেম্বারের দেয়ালে নয়, ফলে শক্তি ব্যবহার কমে। নির্ভরযোগ্যতা মানে আপটাইম: ইউনিটগুলো 5,000+ ঘন্টা চলে কম 5% আউটপুট পতনের সঙ্গে—কম বিরতি, কম প্রিভেনটিভ পরিবর্তন।
আপনাকে যা জানতে হবে
ইনস্টলেশন মানে ল্যাম্পের ফুটপ্রিন্ট ট্র্যাক পোর্টের সাথে মেলানো এবং ইরাডিয়েন্স প্রোফাইল ওয়েফারের আকার অনুযায়ী সামঞ্জস্য করা। ল্যাম্প আউটপুট স্পেসিংয়ের উপর নির্ভরশীল—যদি গ্যাপ প্রস্তাবিত পরিসর থেকে বাইরে হয়, তবে ইউনিফরমিটি বিগড়ে যায়।
রেসিপি টিউন করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনারিং রান আশা করুন। একবার ক্যালিব্রেট হওয়ার পরে, নিয়মিত মেট্রোলজি চেকের মাধ্যমে প্রক্রিয়াটি স্থির থাকে।