V provozu výroby nemají linky na výrobu polovodičových článků z pevných látek prostor na tepelné odchylky. Dokonce i malá odchylka teploty o jeden stupeň může způsobit rozdíly v kvalitě výrobku. Příliš vysoká teplota zase může vést k poruchám struktury výrobku. Naše zařízení na zahřívání polovodičových článků pomocí infračerveného záření umožňuje udržet teplotu v požadovaném rozmezí – a to i při velkém množství výrobků vyrobených během jedné směny.
Důležitá je opravdu ta kontrola, kterou lze ověřit. Krátkovlnné infračervené záření předává energii přímo do tenkých vrstev a substrátů, rychle a s rovnoměrností ±0,1 °C v celé aktivní oblasti. Opakovatelnost teploty je ±0,5 °C mezi jednotlivými cykly, takže procesy jako zahřívání fotorezistů probíhají podle specifikací bez nutnosti oprav. Zařízení je kompatibilní s čistými místnostmi třídy 1–100 a během provozu nevytváří žádné částice. Je navrženo pro nonstop provoz, s údaji o spolehlivosti, které podporují dlouhodobý provoz a předvídatelné údržby.
Důvodem úspěchu tohoto řešení je to, že časové možnosti provozu jsou omezené a každá minuta v provozu je drahá. Díky tomuto řešení dochází k rychlejšímu dosažení požadované teploty, lepší kontrole kritických dimenzí a méně odpadu způsobeného nadměrným nebo nedostatečným zahříváním. Spotřeba energie klesá, protože infračervené záření zahřívá samotný cíl, nikoliv okolní části. Časové možnosti provozu se tak zvyšují, protože teplotní profil zůstává stabilní i při různých typech výrobků.
Praktická poznámka: výkon infračerveného záření závisí na emisivitě a odrazivosti povrchu. Potažené substráty a vícevrstvé konstrukce vyžadují rychlé termální kalibrace, aby bylo možné nastavit správné parametry. Jakmile jsou tyto parametry stanoveny, systém udržuje konstantní teplotní profil – ale tato počáteční kalibrace je nezbytná pro dosažení konzistentních výsledků u různých materiálů.