Auf der Herstellungsfläche reicht bereits ein einziger Schritt bei der Trocknung aus, um die Qualität der gewonnenen Wafer zu beeinträchtigen. Die Temperaturgleichmäßigkeit leidet, das Spektrum des Photoresists verändert sich – dadurch sinkt auch die Ertragsrate. Wir haben diese kostengünstige Lampe entwickelt, um solche Störungen bereits in ihren Anfängen zu verhindern.
Was technisch wichtig ist: Es handelt sich um eine NIR-Lampe mit einem stabilen Quarzkörper sowie einem passenden Filament. Dadurch bleibt die Leistung konstant während des Trocknens der Wafer sowie bei den verschiedenen Schritten der Bearbeitung des Photoresists. Das Spektrum der Lampe sorgt dafür, dass die Energie genau dort eingesetzt wird, wo der Photoresist sie aufnimmt – dadurch bleibt das Substrat kühl. Die Temperaturregelmäßigkeit liegt bei ±0,1°C, und die Bildung von Partikeln bleibt in Reinräumen der Klasse 1–100 vernachlässigbar. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, mit weniger als 5% Abfall.
Warum das in der Lithografie funktioniert: In der Lithografie sorgt die sanfte Trocknung dafür, dass die Linienbreite kontrolliert werden kann. Diese NIR-Lampe bringt den Photoresist schnell und gleichmäßig auf die erforderliche Temperatur – dadurch können Lösungsmittel ohne Probleme entfernt werden. Die gleiche Lampe kann außerdem Wafer nach der Reinigung trocknen, ohne dass es zu Spuren kommt. Zudem ermöglicht sie die Ausführung der Aushärtungsprozesse ohne Überhitzung. Das Ergebnis sind bessere Ergebnisse bei der Herstellung der Wafer, weniger Nacharbeiten sowie konsistente Produktionszeiten.
Energieverbrauch: Der Energieverbrauch ist gering, da die Reaktion der Lampe schnell und gezielt erfolgt. Zudem verkürzt die lange Lebensdauer der Lampe die Notwendigkeit von Austauschaktionen sowie Stillstandszeiten – somit sinken auch die Kosten für Ersatzteile.
Was man wissen sollte, bevor man die Lampe austauscht: Die Lampe ist für Standardgehäuse konzipiert. Prüfen Sie vor dem Austausch unbedingt den Anschlusstyp sowie die Geometrie des Reflektors. Stellen Sie sicher, dass die Spannung passt und das Temperaturprofil mit Ihren Prozessvorgaben übereinstimmt.
Sicherheitshinweise: Die Lampe arbeitet mit hoher Intensität – verwenden Sie daher geeignete Schutzmaßnahmen. Bei korrekter Ausrichtung und sauberen Kontakten kann die Lampe direkt in die bestehende Ausrüstung integriert werden, wodurch der Prozess reibungslos ablaufen kann.