Auf der MEMS-Linie ist die Temperaturabweichung nicht nur ein Parameter – sie reduziert die Ausbeute. In der Lithographie führt selbst eine Abweichung von Bruchteilen eines Grades beim Soft Bake oder Hard Bake dazu, dass sich kritische Dimensionen über die Waferfläche verteilen und Bauteile aussortiert werden, noch bevor sie den Track verlassen. Genau für diese Anforderungen haben wir unseren Infrarot-Heizer entwickelt.
Entscheidend ist reproduzierbare Wärme mit konstanter Qualität. Unser Kurzwelliger Infrarotstrahler-Array liefert Energie schnell direkt in den Wafer, wodurch die thermische Verzögerung minimal bleibt. Im Hot Zone Bereich halten wir die Wafer-Temperatur innerhalb von ±0,1°C konstant, sodass jeder Fotolack-Bake die thermische Zielvorgabe ohne Randabweichungen erfüllt.
Das Heizergehäuse besteht aus Quarz und hochreiner Keramik und ist für Reinräume der Klasse 1–100 ausgelegt. Beim Hochfahren entstehen keine Partikelemissionen, und die heiße Oberfläche ist vom Prozessluftstrom isoliert, um Kontaminationen zu vermeiden. Das Ergebnis sind stabile, vorhersehbare Fotolackprofile, die von Charge zu Charge reproduzierbar sind.
Die Steuerung sorgt für den stabilen Betrieb. Die Temperatur reagiert in unter einer Sekunde, was die Zykluszeit verkürzt und die Verweildauer des Wafers bei erhöhter Temperatur reduziert. Der Energieverbrauch sinkt, da die Wärme nur bei Bedarf eingeschaltet wird und Standby-Verluste minimal sind. Das System läuft 24/7 ohne ungeplante Stillstände, und die Strahlerlebensdauer beträgt über 5.000 Stunden vor messbarem Ausgangsdruckabfall – Ersatzteilbedarf und Wartungsfenster reduzieren sich. Bessere Wiederholgenauigkeit verbessert die Kontrolle der kritischen Dimensionen und senkt Ausschuss.
Infrarotwärme wirkt nur im Sichtfeld. Montageausrichtung und Reflektorgeometrie müssen auf Kammer und Waferpfad abgestimmt sein. Wir stellen Maßvorlagen und thermische Freiraumkarten bereit, doch die Integration ist zwingend erforderlich. Planen Sie Gehäuseabmessungen und Kühlwege frühzeitig, damit der Heizer die geforderte Prozesspräzision liefert.