En la planta de fabricación, una variación de 0,1°C durante el proceso de cocción del fotoreactivo puede hacer que las dimensiones críticas cambien en nanómetros. Eso no es algo aceptable desde el punto de vista de las tolerancias; eso significa desperdicio de materiales. Hemos diseñado nuestras lámparas de infrarrojos de onda corta para eliminar esa incertidumbre, de modo que la uniformidad a nivel de oblea sea un valor fijo, y no algo que dependa de factores aleatorios.
El núcleo de estas lámparas está hecho de material de infrarrojos de onda corta, elegido porque calienta de manera eficiente y rápida, con baja inercia térmica. Las líneas de emisión máxima coinciden con la forma en que los fotoreactivos absorben la energía, por lo que esta energía se dirige directamente al fotoreactivo, y no a los componentes circundantes. Se logra así una uniformidad a nivel de oblea de ±0,1°C en sustratos de 150/200/300 mm, además de una estabilidad en la temperatura de menos de 0,5°C durante todo el proceso de cocción.
La estructura del envoltorio de cuarzo y del reflector está diseñada para reducir la generación de partículas, manteniendo así los niveles de partículas en entornos de clase 1–100. La eficiencia de las lámparas se mantiene durante más de 5,000 horas, con una disminución en la intensidad de luz de menos del 5%.
En las células de litografía, esto significa que se pueden lograr procesos de cocción más precisos, menos defectos y un mejor control de las dimensiones de la oblea. Los ciclos de calentamiento y enfriamiento más rápidos aumentan la productividad sin necesidad de añadir más energía. El consumo energético disminuye, ya que la lámpara calienta solo el objetivo a tratar, y no toda la cámara.
La fiabilidad de estas lámparas permite su uso 24/7. Además, los módulos son intercambiables, por lo que cualquier interrupción imprevista no detendrá la línea de producción.
La instalación es sencilla en rieles estándar, pero es necesario prestar atención al alineamiento óptico y a la protección contra las interferencias electromagnéticas cerca de las etapas sensibles del proceso. Es importante conectarlas a los controladores de temperatura y sistemas de seguridad existentes, y luego validar el perfil de cocción según las características del fotoreactivo utilizado.
Es necesario realizar inspecciones periódicas del reflector y limpieza del cuarzo. De esta manera, se puede mantener la uniformidad a lo largo de los años, y no solo durante unos cuantos trimestres.