در فرآیند تولید، حتی یک اختلاف کوچک در دما میتواند باعث اختلال در کل محصولات تولید شده شود. یکنواختی دما کاهش مییابد، ویژگیهای فوتورزیست نیز تغییر میکند؛ در نتیجه بازدهی تولید کاهش مییابد. ما این لامپ خشککن سطح پایین هزینه را طراحی کردهایم تا این اختلالات را از همان ابتدا مهار کند.
موارد مهم از نظر فنی:
این لامپ، لامپ نور مادون قرمز است که دارای پوشش کوارتزی پایدار و فیلامنت مناسبی است؛ بنابراین خروجی آن در فرآیندهای خشککردن سطح ویفر، فرآیندهای نرمکردن فوتورزیست و فرآیندهای سختکردن آن، یکنواخت باقی میماند. پروفایل طیفی این لامپ، انرژی را در جایی تخصیص میدهد که فوتورزیست آن را جذب کند؛ در نتیجه میزان گرمای تولید شده کاهش مییابد و سطح ویفر سرد باقی میماند. یکنواختی دما در منطقه گرم، در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین تولید ذرات در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ ناچیز است. خروجی این لامپ در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد.
چرا این لامپ در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟
در فرآیند لیتوگرافی، فرآیند نرمکردن فوتورزیست، زمینه لازم برای کنترل عرض خطوط را فراهم میکند. این لامپ، فوتورزیست را به سرعت و به طور یکنواخت به دمای مورد نیاز میرساند؛ در نتیجه حلالها بدون ایجاد اختلالات، از روی سطح ویفر خارج میشوند. همین لامپ، ویفرهای پس از پاکسازی را نیز بدون ایجاد هیچ اختلالی خشک میکند؛ همچنین فرآیندهای لازم برای تثبیت فوتورزیست را نیز بدون ایجاد اختلالات انجام میدهد. نتیجه این امر، یکنواختی بالاتر در عرض خطوط، کاهش تعداد کارهای تکراری، و زمانهای کاری قابل پیشبینی است.
مزایای استفاده از این لامپ:
مصرف انرژی کاهش مییابد؛ زیرا پاسخ لامپ سریع و متمرکز است. همچنین، عمر طولانی این لامپ، نیاز به تعویض آن را کاهش میدهد و هزینههای مربوط به تعمیرات نیز کاهش مییابد.
نکاتی که باید قبل از استفاده از این لامپ در نظر بگیرید:
این لامپ برای استفاده در محفظههای لامپ استاندارد طراحی شده است؛ بنابراین قبل از استفاده، انواع کانکتورها و ساختارهای بازتابنده را بررسی کنید. ولتاژ لامپ را نیز با استانداردهای فرآیند خود مطابقت دهید. این لامپ با توان بالایی کار میکند؛ بنابراین باید از سیستمهای محافظتی مناسب استفاده کنید. با تنظیم صحیح موقعیت لامپ و استفاده از تماسهای مناسب، این لامپ میتواند در دستگاههای موجود به خوبی کار کند.