در اتاقهای فابلاب، فرآیند گرم کردن رزیست فوتوگرافیک، چیزی تختصصی نیست؛ بلکه یک روش حیاتی برای کنترل ابعاد مهم قطعات است. حتی تغییرات جزئی در دما، یا وجود نقاط گرم در سطح ویفر، میتواند باعث از بین رفتن دقت فرآیند لیتوگرافی شود. ما این فر در دمای بالا را طوری طراحی کردهایم که بتواند این کنترلها را در هر بار استفاده حفظ کند.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
در کل محدوده دمایی مورد نیاز، یکنواختی دمایی در سطح ویفر به میزان ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین، پایداری دما حتی در حالتی که بار روی فر قرار دارد، نیز حفظ میشود. منطقه گرم، از کوارتز و حرارت مادون قرمز برای گرم کردن استفاده میکند؛ بنابراین، فرآیند گرم کردن سریع و قابل تکرار است. الگوهای گرم کردن مختلف نیز در هر بار تکرار، نتایج یکسانی خواهند داشت.
سازگاری با محیطهای پاک
سازگاری با محیطهای پاک، چیزی اضافی نیست؛ بلکه یکی از ویژگیهای ذاتی این فر است. این فر میتواند در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ عمل کند؛ همچنین، موادی که از فر خارج میشوند، مقدار کمی دارند و جریان هوا نیز تحت کنترل است؛ بنابراین، تعداد ذرات در طول فرآیندهای حرارتی تغییر نمیکند. قابلیت تکرار، چیزی تخیلی نیست؛ بلکه از طریق اندازهگیریهای دقیق، مشخص میشود.
چرا این فر مناسب اتاقهای فابلاب است
در اتاقهای فابلاب، نیاز به سرعت وجود دارد، اما بدون از دست دادن کنترل. این فر به سرعت گرم میشود و به طور کنترلشده سرد میگردد؛ بنابراین، زمان فرآیند کاهش مییابد، در حالی که دقت فرآیند لیتوگرافی حفظ میشود. نتیجه این است که تعداد تکرارهای فرآیند کمتر میشود، کنترل ابعاد قطعات بهتر میشود، و ویژگیهای فیلم نیز در تمام ویفرها یکسان خواهد بود.
مدیریت مصرف انرژی
مصرف انرژی از طریق عایقبندی مناسب و سیستم گرمایشی کارآمد مدیریت میشود؛ بنابراین، هزینه عملیاتی کاهش مییابد، بدون اینکه دقت دما تحت تأثیر قرار بگیرد. قابلیت اطمینان این فر، برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ همچنین، اجزای مورد استفاده، برای عمر طولانی و تعمیرات منظم انتخاب شدهاند.
چه چیزهایی باید از قبل در نظر گرفته شود
این فر به برق مخصوص و سیستم تخلیه هوای تمیز و خشک نیاز دارد. این فر همچنین با سیستم SECS/GEM سازگار است؛ اما باید فضای لازم و اتصالات لازم را از قبل در نظر گرفت. یک آزمایش کوتاه نیز باید انجام شود؛ تا قابلیت تکرار فرآیند و سازگاری آن با محیطهای پاک مشخص شود، قبل از شروع تولید واقعی.