در سطح کارگاه، یک پخت نرم در دمای ۹۰ درجه سانتیگراد با انحراف ±۰.۵ درجه سانتیگراد، یکنواختی CD را تحت تأثیر قرار میدهد و به شما در تولید آسیب میزند. دما یک کلید پسزمینه نیست—بلکه نحوه رفتار فوتورزیست، چگونگی چسبندگی آن و اینکه آیا الگو در مراحل بعدی حفظ میشود را تعریف میکند. وقتی کنترل حرارتی نوسان میکند، شما به سرعت آن را مشاهده میکنید: نقصها در بازرسی و افزایش کار مجدد.
آنچه در زیر سطح اهمیت دارد ما بخاری مادون قرمز دقتی را بر اساس منابع NIR طراحی کردیم که انرژی را مستقیماً به سیلیکون و لایه فوتورزیست منتقل میکند. در سطح پخت، ما هدف یکنواختی در سطح ویفر ±۰.۱ درجه سانتیگراد را داریم و نقطه تنظیم در عرض چند ثانیه، نه چند دقیقه، تثبیت میشود. اتاق تمیز کلاس ۱–۱۰۰ با مواد کمگاز و طراحی کنترلشده ذرات پشتیبانی میشود و در حالت پایدار به تولید صفر ذره میرسد. کنترلکننده خط تمیزی بر روی بودجه حرارتی نگه میدارد و تکرارپذیری آن به خوبی با کنترل فرآیند آماری سازگار است.
چرا این در لیتوگرافی اهمیت دارد پروفایلهای پخت نرم و پخت سخت منظم، زمان چرخه را کاهش میدهند و ضایعات را کاهش میدهند. شما کنترل CD محکمتری، نقصهای کمتری در پایه و کف و یک پنجره دوزی که میتوانید به آن اعتماد کنید، دریافت میکنید. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا عنصر NIR به صورت تقاضا گرم میشود—گرم شدن حداقلی، بدون جرم اضافی اتاق برای مقابله. زمان کارکرد واقعاً معیار اصلی است: این واحدها به طور ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته با صفر زمان توقف غیرمترقبه در تولید کار میکنند و خدمات طبق برنامههای نگهداری پیشگیرانه منظم باقی میماند، نه تماسهای اضطراری.
این موارد را زیر نظر داشته باشید ادغام ساده است، اما بخاری به سطوح نصب هماهنگ و ولتاژ پایدار نیاز دارد تا پنجره یکنواختی ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. پیوند حرارتی را به چاک راهاندازی کنید و اطمینان حاصل کنید که کنترلکننده یک مسیر حسگر تمیز و با نویز کم را مشاهده میکند. اگر ویفر شما دارای تغییرات بالای تابش در سطح باشد، ممکن است نیاز به کمی تنظیم جبرانی منطقهای داشته باشید. ما مشخصات رابط و روالهای کالیبراسیون را ارائه میدهیم تا نصب در مشخصات قرار گیرد.