Comment mettre fin au cauchemar des lampes qui éclatent pendant le séchage des wafers
Si vous avez déjà effectué des cycles de production à forte charge, vous connaissez bien ce problème. Ces lampes infrarouges subissent de fortes sollicitations. Et quand l’une d’elles finit par éclater ? C’est un désastre : des morceaux de verre et des substances chimiques se retrouvent partout, contaminant les wafers et ruinant instantanément leur qualité. C’est une situation déplorable que personne ne veut affronter.
Nous avons trouvé une solution pour y remédier. Nous avons ajouté un réflecteur spécial qui remplit deux fonctions à la fois : il augmente la puissance optique de la lampe et sert également de protection physique.
Comment ça fonctionne en réalité ?
Nous utilisons de l’aluminium de haute pureté, recouvert d’un revêtement anodique spécifique. Il ne s’agit pas simplement de renvoyer l’énergie infrarouge vers le wafer. Il s’agit plutôt de créer une barrière entre l’enveloppe en quartz et le wafer lui-même.
Si une lampe éclate à cause d’un choc thermique, le réflecteur capture les débris. La plupart des résidus restent donc bloqués à l’intérieur du réflecteur. Ainsi, vous n’avez pas besoin d’arrêter complètement la production pour nettoyer l’appareil chaque fois qu’une lampe éclate.
Le facteur thermique (et ses limites)
Ces réflecteurs sont conçus pour gérer des densités d’énergie élevées. En ajustant le point focal, nous nous assurons que la chaleur atteigne le wafer, et non le cadre de l’appareil.
Mais il y a un compromis à respecter : un point focal plus précis signifie une chaleur plus intense. Si vos ventilateurs de refroidissement ne sont pas assez puissants, le réflecteur lui-même peut devenir trop chaud, ce qui endommagera progressivement son revêtement. C’est une solution simple, mais il faut être vigilant. Vérifiez régulièrement la surface du réflecteur tous les 2 000 heures, afin de vous assurer que tout reste en bon état.
Installation facile
Ces réflecteurs peuvent être installés sans avoir à modifier l’ensemble du design de l’appareil ou à déplacer l’équipement. Le réflecteur se fixe simplement autour de la lampe. Si la lampe tombe en panne, la contamination reste localisée. Cela rend le processus de remplacement beaucoup moins complexe. Il suffit de retirer la lampe endommagée ainsi que le réflecteur, de nettoyer les débris, puis d’installer un nouveau réflecteur. Vous pouvez reprendre immédiatement le travail, sans risquer de endommager le reste des wafers.