Dans une salle propres de classe 1, une wafer de 300 mm est placée sur la plaque chauffante. Le procédé de traitement du photorésiste dépend de la température, et non d’une simple supposition. Un écart de 2 °C sur la surface de la wafer peut provoquer des problèmes, perturber la formation de la couche de lithographie, et annuler un travail accompli en une semaine. Nous avons donc conçu un chauffage infrarouge pour cette chambre à vide, afin d’éliminer ce facteur aléatoire.
Ce qui est important Le chauffage utilise des émetteurs en quartz à ondes courtes pour fournir une chaleur radiante directe, avec un temps de réponse en millisecondes. Sur toute la surface de la wafer, l’uniformité de la température reste à ±0,1 °C, tandis que la répétabilité d’un cycle à l’autre est de 0,05 °C. Le corps de la chambre est fait en acier inoxydable 316L, électropolissé, afin de réduire les émissions gazeuses. La chambre peut atteindre une pression de 10^-6 mbar. Sa conception adaptée aux salles propres permet de maintenir zéro génération de particules, même après 5 000 heures de fonctionnement à 250 °C. La pyrométrie intégrée et le contrôle en boucle fermée permettent de maintenir la température désirée sans excès de consommation d’énergie.
Pourquoi cela fonctionne bien dans le traitement du photorésiste Le budget thermique est très restreint. Ce chauffage permet de définir des profils de chauffage précis, ce qui stabilise les dimensions critiques de la wafer et réduit les retouches nécessaires. La vitesse de chauffage permet de raccourcir le temps de traitement, tandis que la faible masse thermique permet de réduire la consommation d’énergie. En résultent des rendements constants, moins de matériaux gaspillés, moins de tentatives infructueuses, et des périodes de maintenance plus faciles à planifier.
Ce qu’il faut prendre en compte L’installation nécessite de correspondre à la géométrie de la chambre et à l’émissivité du support utilisé. Il est également nécessaire de régler le chauffage en fonction de la charge thermique spécifique. Prévoyez un court temps de mise en service pour ajuster la position du pyromètre et les vitesses de chauffage. Une fois cela fait, le système fonctionnera correctement. Cependant, il est conseillé de vérifier les émetteurs tous les trois mois et de recalibrer l’appareil chaque année, afin de maintenir cette uniformité de température de ±0,1 °C, essentielle pour que le processus fonctionne correctement.