בקו ה-MEMS, שינויי טמפרטורה אינם רק פרמטר - הם מכשול לתפוקה. בליתוגרפיה, אם האפייה הרכה או האפייה הקשה שלך נוטות אפילו במעט מעלות, אתה מפזר ממדי מפתח על פני הוופרים ומבצע פחת של מכשירים לפני שהם עוזבים את המסילה. בנינו את מחמם האינפרא אדום שלנו עבור מציאות זו.
מה שחשוב הוא חום שניתן לשחזור, המועבר בצורה נקייה. מערך הפולט אינפרא אדום שלנו קצר הגלים מכניס אנרגיה ישירות לתוך הוופר, במהירות, כך שהשהיית החום נשארת מינימלית. ברחבי האזור החם, אנו שומרים על אחידות ברמת הוופר בתוך ±0.1°C, כך שכל אפיית פוטו-רזיסט פוגעת בתקציב החום ללא חריגות בקצוות.
גוף המחמם עשוי קוורץ וקרמיקה טהורה מאוד, בנוי לחדרים נקיים בדרגת Class 1–100. אין פיצוץ חלקיקים בזמן עלייה, והמשטח החם נשאר מבודד מהאוויר בתהליך כדי לשמור על זיהום מחוץ. התוצאה היא פרופילים של פוטו-רזיסט שהם יציבים, ניתנים לחיזוי, וניתנים להעברה מקבוצה לקבוצה.
בקרת הטמפרטורה היא מה ששומר אותך פועל. תגובת טמפרטורה מתחת לשנייה מקטינה את זמן המחזור ומפחיתה את הזמן שהוופר נמצא בטמפרטורה מוגברת. השימוש באנרגיה יורד מכיוון שהחום מופק לפי דרישה, עם הפסדים מינימליים במצב חימום. המערכת פועלת 24/7 ללא זמן השבתה בלתי מתוכנן, וחיי הפולט תומכים ב-5,000+ שעות לפני שהפלט נוטה - חלקי חילוף יורדים, חלונות תחזוקה מצטמצמים. חזרתיות טובה מחזקת את בקרת ה-CD ומפחיתה פחת.
חום אינפרא אדום הוא בקו ראייה. יישור ההתקנה וגיאומטריית המפיץ חייבים להתאים לחדר ולמסלול הוופר. אנו מספקים תבניות ממדיות ומפות רווח תרמי, אך האינטגרציה אינה נתונה למשא ומתן. תכנן את מעטפת המכניקה ואת מסלול הקירור מראש, והמחמם יספק את הדיוק שההליך דורש.