נורת תנור לליתוגרפיה של חצאי מוליכים

בחדר הייצור, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט יכול להפוך את כל המוצרים שנוצרו לפסולת. אין צורך בחום לא יציב – צריך חום שפועל...