फैब-लैब में, फोटोरेसिस्ट को गर्म करना कोई वैकल्पिक प्रक्रिया नहीं है; बल्कि यही वह प्रक्रिया है जो चिप के महत्वपूर्ण आयामों को सुनिश्चित करती है। थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन, वेफर पर कहीं भी गर्म बिंदु होने से लिथोग्राफी प्रक्रिया विफल हो जाती है। हमने ऐसा उच्च-तापमान वाला फर्नेस बनाया है, ताकि ऐसी स्थितियों से बचा जा सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
पूरे गर्मी-उपचार के दौरान वेफर पर तापमान की स्थिरता ±0.1°C तक होती है। फर्नेस में क्वार्ट्ज एवं शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग किया गया है; इससे तापमान-परिवर्तन तेज़ एवं नियंत्रित रहता है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों ही प्रक्रियाओं में परिणाम समान ही रहता है।
क्लीनरूम संगतता
क्लीनरूम संगतता कोई अतिरिक्त सुविधा नहीं है; बल्कि यह फर्नेस की ही विशेषता है। यह फर्नेस क्लास 1–100 वाले वातावरणों में भी काम कर सकता है। इसमें कम गैस-निकास वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, ताकि तापीय चक्रों के दौरान कणों की संख्या में कोई वृद्धि न हो। पुनरावृत्ति-क्षमता कोई दावा नहीं है; बल्कि यह मापा जा सकता है… और इसके परिणाम निर्धारित सीमाओं के भीतर ही होते हैं।
फैब-लैब की आवश्यकताओं के अनुरूप क्यों?
फैब-लैब में तेज़ गति आवश्यक है, लेकिन नियंत्रण भी आवश्यक है। यह फर्नेस तेज़ी से गर्म होता है, एवं नियंत्रित तरीके से ठंडा भी होता है… इससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता भी बनी रहती है। परिणामस्वरूप, कम री-वर्किंग की आवश्यकता होती है, एवं पहली वेफर से लेकर सौवीं वेफर तक गुणवत्ता समान ही रहती है।
ऊर्जा-उपयोग
ऊर्जा-उपयोग को नियंत्रित करने हेतु उच्च गुणवत्ता वाली इन्सुलेशन सामग्रियों एवं कुशल हीटिंग तकनीकों का उपयोग किया गया है… इससे तापमान-सटीकता बनी रहती है, एवं परिचालन लागत भी कम हो जाती है। इस फर्नेस की विश्वसनीयता 24/7 कार्य हेतु ही डिज़ाइन की गई है… इसके घटक लंबे समय तक काम कर सकते हैं, एवं रखरखाव भी आसान है।
पहले ही क्या योजना बनानी आवश्यक है?
इस फर्नेस के लिए विशेष बिजली-स्रोत एवं साफ/सूखा वायु-प्रवाह आवश्यक है। यह SECS/GEM तकनीक के साथ भी संगत है… लेकिन जगह एवं अन्य सुविधाओं की योजना पहले ही बना लेनी आवश्यक है। पहले ही एक छोटा परीक्षण करें… ऐसा करने से पुनरावृत्ति-क्षमता एवं क्लीनरूम-संगतता की पुष्टि हो जाएगी… तब ही पूर्ण उत्पादन शुरू किया जा सकता है।