चलिए, आपकी फैक्ट्री में उपयोग होने वाले यूएचपी इन्फ्रारेड हीटरों के बारे में बात करते हैं।
हम अल्ट्रा हाई प्योरिटी (UHP) हीटर लैंप बनाते हैं, क्योंकि हम जानते हैं कि वेफरों के प्रसंस्करण में कितनी मेहनत लगती है… और हर प्रतिशत उत्पादन हासिल करने हेतु कितनी मेहनत करनी पड़ती है। आजकल सभी “ग्रीन फैक्ट्री” मानकों की मांग कर रहे हैं… लेकिन हमारे लिए यह इतना ही आसान है। रेजिस्टिव हीटिंग के बजाय शॉर्टवेव इन्फ्रारेड हीटिंग का उपयोग करना ही सही विकल्प है… क्योंकि इससे ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती।
पुरानी विधि में समस्याएँ
एक सामान्य रेजिस्टिव फर्नेस के बारे में सोचिए… यह तो ऐसा ही है, जैसे कि एक कप कॉफी गर्म करने हेतु पूरे घर को गर्म करने की कोशिश करना… ऐसे में बहुत सारी ऊर्जा बर्बाद हो जाती है।
हमारे UHP लैंप ऐसा नहीं करते… वे सीधे सब्सट्रेट पर ऊर्जा भेजते हैं। चूँकि हम ऊर्जा को एक विशिष्ट तरंगदैर्घ्य पर केंद्रित करते हैं, इसलिए प्रक्रिया शुरू होने में लगने वाला समय कम हो जाता है… मशीनें अधिक समय तक काम करती हैं, न कि बेकार ही खड़ी रहती हैं। इससे ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है।
एक चेतावनी…
हाई-वॉटेज डेनसिटी तो गति के लिए अच्छी है… लेकिन इससे पावर सप्लाई पर दबाव पड़ता है। यदि आप हाई-वॉल्टेज आरेयों का उपयोग कर रहे हैं, तो अपने इलेक्ट्रिक पैनलों को इस दबाव को संभालने में सक्षम होना चाहिए… वरना शुरुआती चरणों में ही फ्यूज टूट सकते हैं।
दूषण से बचना
हम सभी जानते हैं कि कुछ छोटे कण भी उत्पादन को नष्ट कर सकते हैं… यह तो एक बड़ी समस्या है।
इसीलिए हम लगभग शून्य धात्विक अशुद्धियों वाले सिंथेटिक फ्यूज्ड सिलिका/क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… हम लैंपों की सफाई भी करते हैं, ताकि उनमें से कोई भी वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड न निकले… इससे आपको पहले कुछ चक्रों में कोई समस्या नहीं होगी।
कनेक्टरों का महत्व
हम कनेक्टरों के मामले में बहुत सावधान रहते हैं… हम विशेष सीलों का उपयोग करते हैं… क्योंकि लीक होने वाले कनेक्टरों से न केवल विद्युत संबंधी समस्याएँ होती हैं… बल्कि ऑक्सीजन भी वैक्यूम/निर्जन वातावरण में घुस सकती है… जिससे वेफर की सतह नष्ट हो सकती है।
वास्तविक दुनिया में विकल्प
इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग करने से प्रति वेफर पर खर्च होने वाली ऊर्जा कम हो जाती है… लेकिन इन्फ्रारेड लैंप हमेशा तक नहीं चलते… फिलामेंट समय के साथ वाष्पीभूत हो जाते हैं… यह तो भौतिकी ही है… अपनी प्रक्रिया को सुचारू रखने हेतु, आपको लैंपों के रिप्लेसमेंट की योजना बनानी ही होगी।
कभी भी ऐसा मत करें कि लैंप खराब होने के बाद ही उसे बदलें… एक खराब लैंप की वजह से पूरा उत्पादन नष्ट हो जाएगा… यह तो एक बड़ी गलती होगी।