फैब्रिकेशन प्रक्रिया के दौरान, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 0.1°C का अंतर ही वेफरों के आयामों में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है। यह कोई “स्वीकार्य सीमा” नहीं है; ऐसी स्थिति में उत्पाद बर्बाद हो जाता है। हमने ऐसी अनिश्चितताओं को दूर करने हेतु शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंप विकसित किए हैं; इससे वेफरों की समानता सुनिश्चित हो जाती है।
शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग इसलिए किया गया है, क्योंकि ये तेजी से ऊष्मा प्रदान करते हैं, एवं इनकी थर्मल इनर्शिया कम होती है। इससे ऊर्जा सीधे फोटोरेजिस्ट में ही जाती है, न कि अन्य घटकों में। इससे 150/200/300 मिमी आकार के वेफरों पर ±0.1°C की सीमा में ही समानता बनी रहती है; एवं गर्म करने की प्रक्रिया के दौरान तापमान में 0.5°C से भी कम उतार-चढ़ाव होता है।
क्वार्ट्ज आवरण एवं रिफ्लेक्टरों की संरचना ऐसी है कि कणों का उत्पादन कम हो जाता है; इससे क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी कणों की संख्या स्थिर रहती है। लैंप 5,000+ घंटों तक कार्य कर सकता है, एवं इसकी तीव्रता में 5% से भी कम कमी आती है।
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, ऐसे लैंपों के कारण सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाएँ अधिक सटीक हो जाती हैं; दोष कम हो जाते हैं, एवं CD नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है। तेज गति से गर्म/ठंडा करने की प्रक्रियाओं से उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। क्योंकि लैंप केवल लक्षित वस्तु को ही गर्म करता है, न कि आसपास के कमरे को।
इन लैंपों की विश्वसनीयता 24/7 कार्य हेतु है; इन मॉड्यूलों को आसानी से बदला जा सकता है, इसलिए किसी अप्रत्याशित रुकावट से प्रक्रिया प्रभावित नहीं होती।
मानक स्लॉटों पर इन लैंपों की स्थापना आसान है; लेकिन संवेदनशील घटकों के आसपास ऑप्टिकल एलाइनमेंट एवं EMI शील्डिंग पर ध्यान देना आवश्यक है। इन लैंपों को अपने मौजूदा तापमान नियंत्रकों एवं इंटरलॉक सिस्टमों से जोड़ें, एवं फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता की जाँच करें।
नियमित रूप से रिफ्लेक्टरों की जाँच एवं क्वार्ट्ज की सफाई आवश्यक है; ऐसा करने से ही वर्षों तक समानता बनी रहती है, न कि केवल कुछ ही महीनों तक।