Di dalam fasilitas fab-lab ini, proses pemanasan fotoresist bukanlah hal yang “tidak penting”; sebaliknya, proses ini merupakan langkah kritis untuk mempertahankan dimensi-dimensi penting dari wafer tersebut. Sedikit saja perubahan suhu atau adanya titik panas di permukaan wafer dapat merusak hasil litografisnya. Kami membuat furnace berkekuatan tinggi ini agar proses pemanasan tetap terkendali, dari satu siklus ke siklus berikutnya.
Apa yang benar-benar penting? Anda akan mendapatkan keseragaman suhu pada tingkat wafer sebesar ±0,1°C selama proses pemanasan berlangsung. Selain itu, sistem ini memiliki stabilitas suhu yang tinggi, bahkan ketika beban kerja tinggi. Zona pemanasan menggunakan bahan kuarsa dan pemanasan inframerah pendek, sehingga proses pemanasan berlangsung cepat dan dapat diulang-ulang. Profil pemanasan yang digunakan tetap konsisten, dari siklus ke siklus.
Kompatibilitas dengan ruang bersih juga merupakan fitur yang sudah terintegrasi dalam furnace ini. Furnace ini cocok digunakan di lingkungan kelas 1–100, dengan bahan-bahan yang menghasilkan emisi gas yang rendah serta aliran udara yang terkendali, sehingga jumlah partikel tidak meningkat selama proses pemanasan. Repeatabilitas proses pemanasan juga terjamin, karena ada catatan profil yang akurat yang sesuai dengan spesifikasi yang ditetapkan.
Mengapa ini cocok untuk fab-lab? Dalam proses fab-lab, Anda membutuhkan kecepatan tanpa mengorbankan kontrol. Furnace ini dapat memanaskan wafer dengan cepat dan mendinginkannya secara terkendali, sehingga waktu proses menjadi lebih singkat sekaligus melindungi kondisi fotoresist selama proses pemanasan. Hasilnya adalah lebih sedikit kebutuhan untuk melakukan pengulangan proses, kontrol dimensi yang lebih baik, serta kualitas film yang konsisten, mulai dari wafer pertama hingga yang ke seratus.
Penggunaan energi pun dikontrol melalui insulasi yang efektif dan sistem pemanasan yang efisien, sehingga biaya operasional berkurang tanpa mengorbankan presisi suhu. Keandalan furnace ini juga terjamin, karena komponennya dirancang untuk digunakan 24/7, dengan masa pakai yang panjang dan interval perawatan yang dapat diprediksi.
Apa yang perlu dipersiapkan terlebih dahulu? Furnace ini membutuhkan sumber daya listrik yang memadai serta sistem ventilasi yang bersih dan kering. Furnace ini juga kompatibel dengan standar SECS/GEM untuk integrasi, tetapi Anda perlu merencanakan ruang dan saluran utilitas terlebih dahulu. Lakukan uji coba singkat terlebih dahulu, agar profil pemanasan yang digunakan sesuai dengan spesifikasi yang ditetapkan, sehingga reproducibility dan kinerja furnace terjamin sebelum mulai proses produksi secara penuh.