Nelle linee di produzione, una variazione di temperatura di 0,1°C durante la fase di essiccazione del fotorest può causare cambiamenti nelle dimensioni critiche dei componenti, anche se di soli nanometri. Questo non è considerato un “toleranza”, ma piuttosto un difetto che rende il prodotto inutilizzabile. Abbiamo progettato le nostre lampade a infrarossi a lunghezza d’onda corta proprio per eliminare queste incertezze, così da garantire una uniformità a livello di wafer, e non solo una speranza di uniformità.
Il nucleo delle lampade è costituito da materiale a infrarossi a lunghezza d’onda corta: tale scelta permette un riscaldamento rapido e uniforme, con bassa inerzia termica. Le linee di emissione ottimale coincidono con quelle di assorbimento tipiche dei fotorest, quindi l’energia viene trasmessa direttamente al film, senza influenzare i materiali circostanti. In questo modo si ottiene un livello di uniformità a livello di wafer entro ±0,1°C, anche su substrati di dimensioni 150/200/300 mm. Inoltre, la stabilità della temperatura durante il processo di essiccazione è inferiore a 0,5°C.
L’involucro in quarzo e la geometria del riflettore sono progettati per ridurre al minimo la generazione di particelle, così da mantenere i livelli di purezza nell’ambiente di lavoro entro i limiti previsti dalle norme Class 1–100. La durata di funzionamento delle lampade supera le 5.000 ore, con una diminuzione dell’intensità luminosa inferiore al 5%.
Nelle cellule di litografia, ciò significa tempi di essiccazione più precisi, meno difetti e un controllo più efficace delle dimensioni dei componenti. I cicli di riscaldamento e raffreddamento più veloci aumentano la produttività senza aumentare il consumo energetico. Il consumo energetico diminuisce perché la lampada riscalda soltanto il bersaglio desiderato, e non tutta la camera circostante.
La affidabilità delle lampade è tale da permetterne il funzionamento 24/7; inoltre, i moduli sono sostituibili in modo semplice, così da evitare interruzioni indesiderate nella produzione.
L’installazione è semplice, purché venga prestata attenzione all’allineamento ottico e alla protezione contro le interferenze elettromagnetiche nei pressi dei componenti sensibili. È necessario collegare le lampade ai sistemi di controllo della temperatura esistenti, e verificare il profilo di essiccazione in base alle caratteristiche del fotorest utilizzato.
È importante effettuare controlli periodici sui riflettori e sulla pulizia del quarzo. Solo così si può mantenere l’uniformità nel tempo, non solo per pochi mesi.