Di dalam fasiliti fab-lab ini, proses pemanasan bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan langkah penting untuk memastikan dimensi yang tepat pada wafer dapat dipertahankan. Perubahan suhu sebanyak beberapa darjah atau adanya kawasan panas pada permukaan wafer akan menyebabkan ketidakstabilan dalam proses litografi. Kami membina ketuhar berkuasa tinggi ini agar suhu dapat dikawal dengan baik, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Apa yang benar-benar penting
Ketuhar ini mampu mencapai tahap keseragaman suhu sebanyak ±0.1°C di seluruh permukaan wafer, dan titik suhu yang ditetapkan tetap stabil walaupun beban kerja meningkat. Zon pemanasan menggunakan kuarsa dan haba inframerah gelombang pendek, jadi proses pemanasan berlaku dengan cepat dan konsisten. Proses pemanasan lembut mahupun keras memberikan hasil yang sama setiap kali dilakukan.
Keserasian dengan bilik bersih juga merupakan ciri penting bagi ketuhar ini. Ia sesuai digunakan dalam persekitaran kelas 1–100, dengan bahan-bahan yang menghasilkan gas yang sedikit, serta aliran udara yang terkawal. Dengan cara ini, jumlah zarah halus tidak akan meningkat semasa proses pemanasan. Konsistensi hasil pemprosesan dapat diukur, dengan profil yang dicatatkan untuk memastikan prestasi yang konsisten dari wafer pertama hingga yang ke seratus.
Mengapa ia sesuai untuk fab-lab
Dalam operasi fab-lab, kita memerlukan kelajuan tanpa mengorbankan kawalan. Ketuhar ini mempunyai kemampuan untuk memanaskan dan menyejukkan dengan cepat, sambil melindungi bahan fotoresist daripada perubahan suhu yang drastik. Hasilnya adalah kurangnya keperluan untuk memulakan semula proses pemprosesan, kawalan dimensi yang lebih baik, serta sifat filem yang konsisten dari wafer pertama hingga yang ke seratus.
Penggunaan tenaga dikawal melalui insulasi yang efektif dan sistem pemanasan yang efisien. Dengan cara ini, kos operasi dapat dikurangkan tanpa mengorbankan ketepatan suhu. Kebolehpercayaan ketuhar ini direka untuk beroperasi 24/7, dengan komponen-komponen yang dipilih untuk jangka hayat yang panjang dan masa penyelenggaraan yang dapat diramalkan.
Apa yang perlu dirancang terlebih dahulu
Ketuhar ini memerlukan sumber tenaga yang khusus, serta sistem pengudaraan yang bersih dan kering. Ia juga serasi dengan standard SECS/GEM untuk integrasi, tetapi reka bentuk dan sambungan utiliti perlu dirancang terlebih dahulu. Lakukan ujian awal untuk memastikan profil pemanasan yang tepat, agar konsistensi hasil pemprosesan dapat dipastikan sebelum memulakan pengeluaran secara besar-besaran.