On the OLED line, drying isn’t a pause. It’s a control point.
Wafers keluar dari bilasan dan memerlukan permukaan yang stabil sebelum litografi. Jika photoresist tidak dikeringkan dengan sempurna, akan berlaku edge bead, kemudian overlay mula meleret. Jika proses pembakaran tidak sekata, taburan lebar garisan tersebar—hasil pengeluaran menurun. Kami membina lampu pengering inframerah kami untuk menghapuskan variasi tersebut dalam proses.
What matters, technically
Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek dengan filamen tindak balas pantas dan optik kuarza, menyalur tenaga terus ke lapisan photoresist. Sistem ini mengekalkan keseragaman suhu wafer dalam ±0.1°C merentasi medan pembakaran, supaya belanjawan terma kekal konsisten dari satu lot ke lot berikutnya.
Profil pembakaran lembut diulang dalam julat ketat, dan peralihan pembakaran keras adalah bersih—tiada lebihan haba. Keserasian bilik bersih terbina dalam: bahan yang berasap rendah, rumah kedap, dan laluan aliran udara terkawal mengurangkan penghasilan partikel hampir ke sifar.
Why it fits OLED
Tumpukan OLED adalah nipis, sensitif, dan jadual pengeluaran tidak boleh dilengah-lengahkan. Lampu ini memendekkan masa pengeringan dan pembakaran sambil mengekalkan profil, jadi masa kitaran berkurang tanpa menjejaskan kawalan ketebalan filem.
Kami menumpukan haba ke kawasan yang diperlukan, bukan ke dinding ruang, maka penggunaan tenaga berkurang. Kebolehpercayaan berkaitan masa pengoperasian: unit boleh beroperasi lebih 5,000 jam dengan perturunan output kurang daripada 5%—gangguan dan penukaran pencegahan berkurang.
What you need to know
Pemasangan bergantung kepada padanan jejak lampu dengan port trek dan penyelarasan profil penyinaran mengikut saiz wafer. Output lampu sensitif kepada jarak—jika celah melebihi julat yang disyorkan, keseragaman terjejas.
Jangkaan terdapat laluan pengujian singkat untuk melaras resipi. Setelah dilaras, proses kekal stabil dengan pemeriksaan metrologi berkala.