Op de werkbanken in het fablab is het verhitten van de fotorezist geen ‘handigheidje’ – het is juist een essentieel proces om de cruciale dimensies van de schijf vast te houden. Een paar graden verschil in temperatuur of een hete plek op de schijf kunnen er toe leiden dat de resultaten van de lithografieprocessen niet meer betrouwbaar zijn. We hebben deze oven met hoge temperatuur ontworpen om deze processen stap voor stap te kunnen uitvoeren, keer op keer.
Wat echt belangrijk is Er wordt een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C behaald over het hele bereik van de oven. De temperatuur blijft stabiel, zelfs wanneer er veel last op de oven komt te staan. De hete zone maakt gebruik van kwarts en infraroodverwarming, zodat de temperatuur snel en nauwkeurig kan worden geregeld. Of het nu gaat om een zachte of harde verhittingsprocedure: de resultaten blijven steeds hetzelfde, cyclus na cyclus.
Compatibiliteit met schone ruimtes is geen extra eigenschap – het zit al in de oven verwerkt. De oven past zich aan aan omgevingen met een klasse van 1–100, dankzij materialen die weinig gassen afgeven en een luchtcirculatie die de concentratie van deeltjes onder controle houdt. Herhaalbaarheid is geen bewering – het wordt gemeten, met profielen die perfect overeenkomen met de vereisten.
Waarom dit past bij de werkwijze in het fablab In een fablab is snelheid belangrijk, maar ook controle. Deze oven verwarmt zich snel en koelt zich weer onder controle af. Hierdoor wordt de tijd die nodig is voor het proces verkort, terwijl de thermische eigenschappen van de fotorezist behouden blijven. Het resultaat is minder herwerkingswerk, betere controle over de dimensies van de schijf en consistente eigenschappen van het materiaal, vanaf de eerste tot de honderdste schijf.
De energieverbruik wordt beheerd door middel van effectieve isolatie en efficiënte verwarming. Hierdoor dalen de kosten, zonder dat de temperatuurprecisie wordt geschaad. De oven is ontworpen om 24/7 te werken, met componenten die lang meegaan en waarbij de onderhoudsintervallen voorspelbaar zijn.
Wat je van tevoren moet plannen De oven heeft speciale stroomvoorziening en een schone, droge luchtafvoer nodig. Hij is compatibel met SECS/GEM voor integratie, maar plan de ruimte en de benodigde aansluitingen van tevoren. Voer eerst een korte test uit: door het exacte verhittingsprofiel na te bootsen, kun je controleren of de oven consistent werkt en of hij voldoet aan de eisen van de schone ruimte, voordat je overgaat op volledige productie.