Op de productielijn kan een afwijking van 0,1°C tijdens het verhitten van de fotoresist ertoe leiden dat de cruciale afmetingen enkele nanometers veranderen. Dat is geen ‘tolerantie’, maar juist een reden om het product te verwijderen. We hebben onze korte-golflengte infraroodlampen ontworpen om deze onzekerheid weg te nemen. Hierdoor is de uniformiteit op het niveau van de wafer nauwkeurig vast te stellen – geen kwestie van geluk meer.
Het hart van de lamp bestaat uit korte-golflengte infraroodlicht. Dit type licht verwarmt snel en met weinig thermische inertie. De piekemissie van het licht komt overeen met de manier waarop fotoresists energie opnemen. Hierdoor gaat de energie naar de film zelf, en niet naar de dragermoleculen. Hierdoor wordt de uniformiteit op het niveau van de wafer behouden binnen een marge van ±0,1°C, zelfs op ondergronden van 150/200/300 mm. De stabiliteit van de temperatuur blijft bovendien onder de 0,5°C tijdens het verhittingsproces.
De kwartsomhulling en de reflectoren zijn zo ontworpen dat er zo min mogelijk deeltjes worden gegenereerd. Hierdoor blijft het aantal deeltjes in de schone omgevingen in klasse 1–100 constant. De efficiëntie van de lamp blijft ook na meer dan 5.000 uur nog steeds hoog: er vindt minder dan 5% afname van de intensiteit plaats.
In lithografische installaties betekent dit dat er minder fouten optreden en dat de controle over de afmetingen van de wafer nauwkeuriger is. Snellere verhittings- en koelcyclus maken het mogelijk om meer productie te leveren, zonder dat dit tot extra warmteontwikkeling leidt. De energieverbruik neemt af, omdat de lamp alleen het doelwit verwarmt, en niet de kamer eromheen.
De betrouwbaarheid van de lampen is zo ontworpen dat ze 24/7 kunnen werken. De modules zijn bovendien hot-swappable, zodat een onverwachte storing de productielijn niet stillegt.
De installatie is eenvoudig, mits er rekening wordt gehouden met de optische alignering en de EMI-beveiliging in de buurt van gevoelige onderdelen. De lampen kunnen worden gekoppeld aan de bestaande temperatuurregelaars en alarmsystemen. Vervolgens moet het verhittingsproces worden getest om te controleren of het voldoet aan de vereisten.
Het is belangrijk om regelmatig de reflectoren te controleren en de kwartsomhullingen te reinigen. Op deze manier blijft de uniformiteit jarenlang consistent, en niet alleen per kwartaal.