Na stole w laboratorium produkcyjnym proces suszenia fotoopornika nie jest czymś zupełnie zbędnym – to właśnie on zapewnia stabilne warunki termiczne niezbędne do precyzyjnego kształtowania struktury pokrywy krzemowej. Nawet niewielka odchylenie temperatury lub punkty o podwyższonej temperaturze na powierzchni krzemowy mogą doprowadzić do utraty możliwości precyzyjnej produkcji. Stworzyliśmy ten piec o wysokiej temperaturze właśnie po to, aby utrzymać te warunki termiczne przez cały czas pracy.
Co naprawdę istotne Udało nam się osiągnąć jednolitość temperatury na całej powierzchni krzemowego wafera na poziomie ±0,1°C w całym zakresie temperatury. Ponadto system utrzymuje stabilną temperaturę nawet gdy jest dużo obciążenia. W strefie nagrzewania używamy kwarcu oraz promieniowania podczerwonego o krótkiej długości fali, dzięki czemu proces nagrzewania przebiega szybko i można go powtarzać bez żadnych problemów. Profili nagrzewania można dostosować tak, aby uzyskać identyczne wyniki przy każdym cyklu.
Kompatybilność z pomieszczeniami o czystym środowisku nie jest dodatkową funkcją – jest integralną częścią urządzenia. Piec nadaje się do pracy w warunkach klasy 1–100, przy użyciu materiałów o niskim stopniu emisji gazów oraz systemu przepływu powietrza kontrolowanego pod względem ilości cząstek. Dzięki temu liczba cząstek nie zmienia się podczas procesów termicznych. Ponadto precyzja działania urządzenia jest mierzalna, a profile pracy są zapisywane, co umożliwia kontrolę nad procesem produkcji.
Dlaczego to odpowiada rytmowi pracy w laboratorium produkcyjnym W laboratorium produkcyjnym potrzebna jest szybkość, ale bez rezygnacji z kontroli nad procesem. Ten piec nagrzewa się szybko, a jednocześnie umożliwia kontrolowane chłodzenie, co skraca czas cyklu przy jednoczesnym ochronie warunków termicznych niezbędnych do prawidłowej pracy fotoopornika. Wynikiem jest mniej konieczności ponownej obróbki produktu, lepsza kontrola jakości oraz stałe właściwości powłoki na każdym z waferów.
Użycie energii jest kontrolowane dzięki efektywnemu izolowaniu oraz efektywnemu ogrzewaniu, więc koszty operacyjne są niskie, bez straty precyzji temperatury. Urządzenie jest projektowane do pracy 24/7, a komponenty są dobrane tak, aby zapewnić długą żywotność i łatwą konserwację.
Co należy przygotować z góry Piec wymaga dedykowanego źródła zasilania oraz czystego, suchego systemu wydechowego. Jest kompatybilny z standardem SECS/GEM, ale warto wcześniej zaplanować miejsce jego instalacji oraz połączenia z innymi urządzeniami. Należy również przeprowadzić krótkie testy, aby upewnić się, że profil nagrzewania odpowiada wymaganiom i że urządzenie funkcjonuje poprawnie w warunkach laboratorium.