W czystej sali produkcyjnej klasy 1, na gorącej płycie, umieszcza się płytkę o rozmiarze 300 mm. Warstwa fotorezystu jest regulowana za pomocą temperatury, a nie według domysłów. Nawet niewielka różnica temperatury na powierzchni może wpłynąć na jakość produktu – może to doprowadzić do uszkodzenia warstwy litograficznej i straty całego tygodniowego efektu pracy. Stworzyliśmy grzejnik podczerwieni w komorze próżniowej, aby uniknąć takich problemów.
Co jest istotne w tym urządzeniu Grzejnik wykorzystuje emitery kwarcowe długofalowe do dostarczania energii cieplnej w sposób bezpośredni, z czasem reakcji wynoszącym zaledwie kilka milisekund. Na całej powierzchni płytki zachowuje się jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C, a powtarzalność procesu wynosi 0,05°C. Korpus komory jest wykonany z wysokojakościowej stali nierdzewnej 316L, która została spawana w celu zmniejszenia emisji gazów. Komora może funkcjonować w próżni o ciśnieniu do 10^-6 mbar. Konstrukcja komory jest dostosowana do warunków panujących w czystych salach produkcyjnych, dzięki czemu ilość cząstek powstających jest zerowa, nawet po 5 000 godzinach pracy przy temperaturze 250°C. Zintegrowana sistem pomiaru temperatura i sterowanie zamkniętym obwodem zapewniają stabilną pracę urządzenia podczas procesów obróbki.
Dlaczego to urządzenie sprawdza się w procesie obróbki fotorezystu Budżet termiczny jest bardzo ograniczony. Ten grzejnik umożliwia precyzyjne kontrolowanie temperatury podczas procesów obróbki, co zapewnia stabilność wymiarów produktu i zmniejsza konieczność ponownej obróbki. Szybka regulacja temperatury skraca czas realizacji procesu, a niska masa cieplna urządzenia zmniejsza zużycie energii. Dzięki temu uzyskuje się stałą jakość produktów w procesach obróbki płytek o rozmiarze 200 mm i 300 mm, mniej odpadów, mniej prób ponownej obróbki, a także możliwość planowania okresów konserwacji.
Na co należy zwrócić uwagę Podczas instalacji należy dostosować geometrię komory oraz emisyjność elementów grzewczych do specyfiki procesu. Następnie należy skonfigurować grzejnik tak, aby odpowiadał specyficznym wymaganiom termicznym. Oczekuje się krótkiego okresu probnego, aby ustawić odpowiednie wartości temperatury i szybkości regulacji. Gdy wszystko jest już ustawione, system funkcjonuje stabilnie. Ale konieczne jest regularne sprawdzanie elementów grzewczych co kwartał oraz ich kalibracja raz w roku, aby utrzymać pożądaną jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C.