Na linii litograficznej nawet wahania temperatury o 0,2°C podczas procesu suszenia fotorezystu mogą doprowadzić do utraty kontroli nad grubością linii oraz spadku jakości wyrobu. Tradycyjne urządzenia grzewcze usilnie starają się utrzymać równomierność temperatury na całej powierzchni płytki, przy jednoczesnym zachowaniu ograniczeń termicznych. Rozwiązaniem jest grzanie podczerwienią w poszczególnych strefach.
Co jest istotne w praktyce Nasz moduł grzewczy na podczerwień wykorzystuje niezależnie kontrolowane elementy do precyzyjnego sterowania temperaturą w poszczególnych strefach, co pozwala skorygować różnice temperatur między brzegami a środkiem płytki. Dzięki temu uzyskujemy równomierność temperatury na poziomie ±0,1°C, a precyzja ustawień jest na tyle wysoka, że kluczowe kroki w procesie suszenia zachodzą zgodnie z normami. Sprzęt jest przeznaczony do pracy w warunkach klasy czystości 1–100: używane są materiały o niskiej emisji gazów, zamknięte elementy optyczne, a także konstrukcja minimalizująca obecność cząstek. Można oczekiwać braku tworzenia się cząstek podczas procesu suszenia, a także długoterminowej stabilności termicznej, która zapewnia spójność parametrów produktu.
Dlaczego ten moduł sprawdza się w produkcji Moduł ten umożliwia precyzyjną kontrolę procesu. Profile suszenia można powtarzać z minimalnymi odchyleniami, dzięki czemu zmniejsza się ilość produktów wymagających ponownej obróbki, a jakość wyrobu rośnie. Reakcja termiczna jest szybka, więc można skrócić czas cyklu bez utraty precyzji profili. Energia jest dostarczana tylko tam, gdzie jest to konieczne, co zmniejsza koszt produkcji na jedną partię. Mniej odpadów, mniej alarmów, a profil suszenia pozostaje stabilny nawet przy ciągłej pracy 24/7 bez przerw.
Praktyczne informacje Instalacja polega na dostosowaniu rozmiarów modułu do wymagań komory oraz połączeniu go z istniejącymi interfejsami do dostarczania gazu i energii. Dostarczamy plany montażu oraz procedury weryfikacji. Moduł może być używany ze standardowym sprzętem do obsługi płytek, ale nie nadaje się do stosowania w procesach wymagających bezpośredniego zanurzenia płytek lub ekspozycji w środowisku wilgotnym. Zaleca się krótki okres testowy, aby ustalić optymalne parametry suszenia dla danego zakładu i sprawdzić równomierność temperatury na całej powierzchni płytek.