Vamos falar sobre o aquecimento por infravermelho de alta pureza para sua fábrica.
Nós fabricamos lâmpadas de aquecimento de alta pureza porque sabemos o quanto o processamento de wafers pode ser desafiador, quando se luta por cada pequeno percentual de produtividade. Hoje em dia, todos buscam padrões de “fábricas verdes”, mas para nós é mais simples do que isso. Passar do aquecimento resistivo para o aquecimento por infravermelho de onda curta é apenas bom senso – assim, não há desperdício de energia.
O problema com o método antigo
Pense num forno resistivo comum. É como tentar aquecer toda a casa só para aquecer uma xícara de café; você está desperdiçando muita energia ao aquecer as paredes do forno.
Nossas lâmpadas de alta pureza não fazem isso. Elas aquecem diretamente o substrato. Como a energia é direcionada para um comprimento de onda específico, o tempo necessário para aquecer o material diminui. As máquinas passam menos tempo paradas e mais tempo funcionando efetivamente. Isso resulta em um menor consumo de energia.
Atenção: A alta densidade de energia é ótima para aumentar a velocidade de processamento, mas exige bastante esforço dos sistemas de fornecimento de energia. Se você estiver instalando arranjos de alta voltagem, certifique-se de que seus quadros elétricos possam suportar esse aumento de carga. Você não quer que os disjuntores sejam desligados durante o início do processo.
A luta contra a contaminação
Todos sabemos que algumas partículas estranhas podem estragar toda a produção. É um pesadelo.
É por isso que usamos silicato sintético com quase zero impurezas metálicas. Além disso, limpamos as lâmpadas para eliminar compostos orgânicos voláteis. Assim, você não terá problemas com emissões indesejadas durante os primeiros ciclos de aquecimento.
E os conectores? Somos muito rigorosos quanto a eles. Usamos selos especiais, pois uma conexão defeituosa representa mais do que apenas um risco elétrico. Se o oxigênio entrar no ambiente de vácuo ou inerte, ele danificará a superfície do wafer antes mesmo que você perceba.
O verdadeiro custo-benefício
Mudar para o aquecimento por infravermelho definitivamente reduz o consumo de energia por wafer. Isso parece ótimo nos relatórios de consumo de energia.
Mas há um detalhe: as lâmpadas de infravermelho não duram para sempre. Os filamentos evaporam com o tempo. É simplesmente física. Para manter o processo funcionando corretamente, é preciso seguir um cronograma de substituição das lâmpadas.
De qualquer forma, não espere que uma lâmpada quebre no meio do processo. Descartar todo um lote por causa de uma lâmpada quebrada é um erro que você deve evitar a todo custo.