Инфракрасные излучатели против горячего воздуха: почему скорость так важна в процессе обработки полупроводников
Если вы до сих пор используете горячий воздух для глубокой обработки полупроводников, то, по сути, зря теряете время.
Подумайте о том, как работает горячий воздух: сначала необходимо нагреть воздух, затем камеру, а уже потом саму пластину. Этот процесс происходит очень медленно. Инфракрасные излучатели исключают эту необходимость – они используют излучение для непосредственного нагрева цели. Это как разница между ожиданием, пока комната нагреется, и входом на солнце.
Секрет, чтобы провода не расплавились
Здесь возникают сложности: при использовании инфракрасных излучателей нить нагревателя становится красным от жара. Но электрические соединения должны оставаться прохладными, иначе они могут расплавиться.
Поэтому мы используем керамические заглушки. Они служат теплозащитным барьером, предотвращая передачу тепла обратно в источник питания. Если игнорировать этот фактор, выводы будут повреждены уже через короткое время. Мы используем алюминувольфрам, так как он может выдерживать резкие изменения температуры без повреждений.
Меньше объема, большая скорость
Одним из преимуществ является экономия пространства. Не нужны большие вентиляторы и сложная система вентиляции. Все, что требуется – это излучатель и контроллер. Это позволяет достичь желаемой температуры за считанные секунды. Весь процесс становится более эффективным.
Недостатки и способы их устранения
Инфракрасное излучение не является волшебством – оно имеет определенное направление. Горячий воздух охватывает всю поверхность, а инфракрасные лучи действуют точечно. Если расположение излучателя неверно, возникают холодные зоны. Не стоит пытаться исправить ситуацию, увеличивая мощность – это сократит срок службы излучателя.
Секрет заключается в тщательном планировании зон нагрева. Обычно мы используем контроллер типа PID, который поддерживает температуру в пределах ±1°C. Таким образом, не нужно беспокоиться о колебаниях температуры.