На этапе литографии даже небольшое изменение температуры в размере 0,2°C во время процедуры обжига фоторезиста может нарушить точность контроля ширины линий и снизить качество изделий. Традиционные нагревательные устройства пытаются сохранить однородность температуры по всей поверхности пластины, при этом соблюдая заданные тепловые параметры. Решением является использование зонированного инфракрасного нагрева.
Что действительно важно Наш модуль зонированного инфракрасного нагрева использует независимо контролируемые элементы для регулирования температуры в отдельных зонах, что позволяет корректировать перепады температуры от краев к центру в реальном времени. Благодаря этому достигается однородность температуры на уровне ±0,1°C по всей поверхности пластины. Также обеспечивается высокая точность установки температуры, что позволяет соблюдать все требования к процедуре обжига. Оборудование разработано для использования в чистых комнатах класса 1–100: используются материалы с низким уровнем выбросов газов, герметичные оптические элементы, а также конструкция, минимизирующая появление частиц. При этом можно ожидать отсутствия частиц во время процедуры обжига, а также долгосрочной тепловой стабильности, что способствует поддержанию стабильности размеров изделий.
Почему это работает в производственных условиях Этот модуль обеспечивает возможность точного контроля процесса. Профили нагрева сохраняются стабильно, что снижает количество бракованных изделий и повышает эффективность производства. Время реакции на изменения температуры минимально, что позволяет сокращать время выполнения процедуры обжига без потери качества. Энергия расходуется только там, где это необходимо, что снижает затраты на производство. Сокращается количество бракованных пластин, уменьшается количество сигналов тревоги, а профиль нагрева остается стабильным даже при круглосуточной работе.
Практические детали Установка модуля заключается в соответствии его размеров с размерами камеры, а также в подключении его к существующим интерфейсам для подачи газа и электроэнергии. Мы предоставляем чертежи интерфейсов и протоколы проверки. Модуль работает с стандартными устройствами для обработки пластин, но не предназначен для прямого погружения пластин или использования в процессах с использованием жидкостей. Рекомендуется провести короткие тестовые запуски для определения оптимальных параметров обжига и проверки однородности температуры на всех видах продукции.