Інфрачервоні випромінювачі проти гарячого повітря: чому швидкість має значення у процесі обробки напівпровідників
Якщо ви все ще використовуєте гаряче повітря для глибокої обробки напівпровідників, то, по суті, ви марнуєте час.
Уявіть собі, як функціонує гаряче повітря: спочатку потрібно нагріти повітря, потім камеру, а нарешті саму пластину. Цей процес є дуже повільним. Інфрачервоні випромінювачі уникають усього цього – вони використовують випромінювання для нагріву безпосередньо об’єкта обробки. Це наче різниця між очікуванням, поки кімната нагріється, та входженням прямо під сонце.
Секрет уникнення руйнування електричних контактів
Ось тут починаються складнощі. Коли працюють інфрачервоні випромінювачі, їхні філаменти нагріваються до дуже високих температур. Але електричні контакти мають залишатися прохолодними – інакше вони можуть зламатися.
Саме тому ми використовуємо керамічні кришки. Вони слугують тепловим бар’єром, який запобігає передачі тепла назад до джерела живлення. Якщо не використовувати такі кришки, контакти будуть згоряти значно швидше. Ми використовуємо алюміній високої чистоти – він може витримувати різкі зміни температур без появи тріщин.
Менше об’єму, більша швидкість
Однією з переваг є те, що можна заощадити багато простору. Не потрібні великі вентилятори та складні системи провітрювання. Достатньо лише випромінювача та контролера.
Це дозволяє досягати потрібних температур за лічені секунди. Це робить весь процес обробки значно ефективнішим.
Недоліки та способи їх усунення
Інфрачервоне випромінювання – це не чудо. Воно є направленим. Гаряче повітря охоплює всю поверхню об’єкта, а інфрачервоне випромінювання діє лише на окремі ділянки. Якщо положення випромінювача неправильне, можуть з’явитися „холодні зони“. Не намагайтеся вирішити цю проблему шляхом збільшення потужності – це значно скоротить термін служби пристрою.
Секрет полягає у ретельному плануванні зон нагріву. Ми зазвичай поєднуємо ці випромінювачі з контролером типу PID. Він підтримує стабільну температуру в межах ±1°C, тож не потрібно хвилюватися через коливання температури.