Як позбутися проблеми розбивання ламп під час процесу висушування вафер
Якщо ви вже мали справу з процесами високої навантаження, то знаєте, які труднощі можуть виникнути. Ці інфрачервоні лампи сильно піддаються навантаженню. А коли одна з них нарешті розбивається? Це справжня катастрофа. Усюди літають уламки скла та хімічні речовини, які заплямовують вафери та призводять до значних втрат у якості продукції. Це справжній безлад, з яким ніхто не хоче мати справу.
Ми знайшли спосіб цього уникнути. Ми додали спеціальний рефлектор, який виконує дві функції: по-перше, він посилює оптичну потужність лампи; по-друге, він слугує фізичним захистом.
Як це працює насправді
Ми використовуємо алюміній високої чистоти з особливим анодним покриттям. Йдеться не лише про відбиття інфрачервоної енергії назад на вафер, а й про створення „стіни“ між кварцовим корпусом лампи та самим вафером.
Якщо лампа розбивається через тепловий шок, рефлектор утримує уламки всередині себе. Таким чином, не виникає необхідності припиняти роботу обладнання для глибокої чистки щоразу, коли лампа розбивається.
Фактор тепла (і його недоліки)
Ці рефлектори розроблені для роботи при високій потужності ламп. Змінюючи точку фокусування, ми забезпечуємо, щоб тепло потрапляло на вафер, а не на корпус обладнання.
Але є один недолік: чим більша точка фокусування, тим інтенсивніше тепло. Якщо вентилятори охолодження слабкі, сам рефлектор може нагрітися, що з часом призведе до пошкодження його покриття. Це просте рішення, але потрібно стежити за цим. Потрібно перевіряти поверхню рефлектора кожні 2000 годин, щоб переконатися, що все все ще у гарному стані.
Як його встановити
Ці рефлектори можна встановлювати як заміну на існуючі лампи. Не потрібно переробляти всю конструкцію обладнання чи переміщувати його для їх встановлення. Рефлектор просто кріпиться навколо лампи. Якщо лампа розбивається, уламки залишаються всередині рефлектора. Це значно полегшує процедуру заміни. Достатньо просто вийняти зламану лампу разом із рефлектором, прибрати уламки та встановити новий комплект. Таким чином можна продовжити роботу, не ризикуючи залишками ваферів.