На етапі літографії навіть зміна температури на 0,2°C під час обробки фотополімеру достатня, щоб порушити контроль товщини ліній та знизити якість виробів. Традиційні системи нагріву намагаються зберегти однорідність температури по всій поверхні пластини, проте це можливо лише за умови дотримання певних теплових параметрів. Інфрачервоне нагрівання з розділенням на зони є ефективним рішенням цієї проблеми.
Що є важливим у цьому модулі
Наш модуль інфрачервоного нагрівання використовує окремо керовані елементи для контролю температури в різних зонах, що дозволяє коригувати варіації температури від країв до центру пластини. Таким чином досягається однорідність температури на рівні ±0,1°C по всій поверхні пластини. Крім того, значення температури можна точно контролювати, що дозволяє забезпечити правильне виконання критичних операцій під час обробки. Обладнання призначене для використання в умовах чистих зали класу 1–100: використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування, оптика, яка є герметичною, а також конструкція, яка мінімізує кількість частинок у повітрі. Під час обробки не виникає жодних частинок, а довгострокова теплова стабільність забезпечує єдиний рівень якості продукції.
Чому цей модуль підходить для виробництва
Цей модуль забезпечує можливість точного контролю процесу обробки. Профілі нагріву можна повторювати з мінімальними відхиленнями, що дозволяє зменшити кількість відходів та підвищити якість виробів. Швидка реакція на зміни температури дозволяє скоротити час обробки без втрати якості продукції. Енергія спрямовується лише туди, де це необхідно, що знижує витрати на обробку однієї партії продукції. Кількість відходів зменшується, кількість сигналів про несправності також зменшується, а профіль нагріву залишається стабільним протягом 24/7 без перерв.
Практичні деталі
Встановлення модуля полягає у відповідності його розмірів розмірама камери, а також у підключенні до наявних інтерфейсів для подачі газу та електроенергії. Ми надаємо креслення інтерфейсів та протоколи перевірки. Модуль може використовуватися зі стандартними пристроями для обробки пластин, але не призначений для прямого занурення пластин у рідину чи використання в процесах, які вимагають вологого середовища. Рекомендується провести короткий тестовий запуск для налаштування параметрів обробки та перевірки однорідності температури на всіх типах продукції.