فیب-لیب میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کا عمل صرف ایک اختیاری عمل نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک اہم عمل ہے جو وہ حدود کو برقرار رکھنے میں مدد کرتا ہے۔ چند ڈگریوں کا فرق، یا ویفر پر کہیں کسی جگہ گرمی کا اضافہ، اس کے نتیجے میں لیتھوگرافی کے نتائج خراب ہو جاتے ہیں۔ ہم نے اس اعلی درجہ حرارت والے فرنس کو اسی مقصد کے لئے تیار کیا ہے، تاکہ ہر بار اس عمل کو بغیر کسی رکاوٹ کے انجام دیا جاسکے۔
دراصل کیا اہم ہے؟
پورے گرم کرنے کے عمل کے دوران ویفر پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور سیٹپوائنٹ بھی مستحکم رہتا ہے، حتیٰ کہ جب لوڈ موجود ہو۔ گرم زون میں کوارٹز اور شارٹ-ویو انفراریڈ حرارت استعمال کی جاتی ہے، اس لئے درجہ حرارت تیزی سے اور باقاعدگی سے تبدیل ہوتا ہے۔ نرم اور سخت گرم کرنے کے عمل کے نتائج ہر بار ایک جیسے ہی ہوتے ہیں۔
کلین روم کے ساتھ مطابقت؟
یہ فرنس کلین روم کے ماحول کے لئے بھی مناسب ہے؛ کیوں کہ اس میں کم گیس خارج ہوتی ہے، اور ہوا کا بہاؤ بھی کنٹرول میں رہتا ہے۔ اس طرح درجہ حرارت کے چکروں کے دوران ذرات کی تعداد میں کوئی اضافہ نہیں ہوتا۔ قابلیت کی پیمائش بھی کی جاتی ہے، اور ریکارڈ کردہ ڈیٹا سے پتہ چلتا ہے کہ نتائج مطلوبہ معیار کے مطابق ہیں۔
فیب-لیب کے عمل کے لئے یہ کیوں مناسب ہے؟
فیب-لیب میں رفتار ضروری ہے، لیکن کنٹرول بھی ضروری ہے۔ یہ فرنس تیزی سے گرم ہوتا ہے، اور کنٹرول کے ساتھ ہی ٹھنڈا بھی ہوتا ہے۔ اس طرح عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور فوٹوریزسٹ کی حرارتی سطح بھی برقرار رہتی ہے۔ اس کا نتیجہ یہ ہے کہ دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، CD کنٹرول بہتر ہو جاتا ہے، اور پہلے ویفر سے لے کر سویں ویفر تک مواد کی خصوصیات یکساں رہتی ہیں۔
توانائی کا استعمال؟
توانائی کا استعمال بہترین طریقے سے کیا جاتا ہے، اور اس طرح آپریشنل لاگت کم ہو جاتی ہے، بغیر درجہ حرارت کی درستگی کو نقصان پہنچائے۔ اس کی قابل اعتمادی 24/7 آپریشن کے لئے بھی ہے، کیوں کہ اس میں ایسے اجزاء استعمال کئے گئے ہیں جو طویل عرصے تک کام کر سکتے ہیں، اور ان کی دیکھ بھال بھی آسان ہے۔
پہلے سے کیا منصوبہ بندی کرنی چاہئے؟
اس فرنس کے لئے الگ سے بجلی کی ضرورت ہے، اور صاف، خشک ہوا کا بھی بندوبست ضروری ہے۔ یہ SECS/GEM سسٹم کے ساتھ بھی کام کر سکتا ہے، لیکن پہلے ہی اس کے لئے مناسب جگہ اور سہولیات کا انتظام کرنا ضروری ہے۔ پہلے ہی ایک مختصر ٹیسٹ کرنا ضروری ہے، تاکہ درجہ حرارت کی درستگی اور کلین روم کے ماحول کی مناسبت کی تصدیق ہو سکے، اور پھر ہی پوری پیداواری عمل شروع کیا جائے۔