فیبریکیشن لائنوں پر، سولیڈ-اسٹیٹ بیٹری ویفروں کے لئے تھرمل ڈرفٹ کی گنجائش نہیں ہوتی۔ اگر درجہ حرارت میں صرف ایک ڈگری کا فرق ہو جائے، تو اس سے ویفروں کی ساخت میں تبدیلی آنا شروع ہو جاتی ہے؛ جبکہ زیادہ درجہ حرارت کی وجہ سے ویفروں کی ساخت تباہ ہو جاتی ہے۔ ہم نے اپنا انفراریڈ سولیڈ-اسٹیٹ بیٹری پروسیسنگ ہیٹر ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ لیتھوگرافی اور کیورنگ کے عمل میں درجہ حرارت کو مستحکم رکھا جا سکے – یہ عمل بار بار، شفٹ بہ شفٹ جاری رہتا ہے۔
واقعی اہم بات یہ ہے کہ کنٹرول قابلِ اعتماد ہو۔ شارٹ-ویو انفراریڈ، توانائی کو تیزی سے پتلی فلموں اور سبسٹریٹس میں منتقل کرتا ہے؛ اور ایکٹیو زون میں درجہ حرارت کی تغیرات ±0.1°C کے اندر رہتی ہیں۔ درجہ حرارت کی دہرائی ±0.5°C کے اندر رہتی ہے، لہذا فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے عمل میں کوئی مسئلہ نہیں پیش آتا۔ یہ آلہ کلاس 1–100 کے کلین رومز کے ساتھ بھی کام کرتا ہے، اور اس کے ہیٹر کے ڈیزائن کی وجہ سے آپریشن کے دوران کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ ہم اس آلے کو 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کرتے ہیں؛ اور اس کی MTBF ڈیٹا سے طویل عرصے تک استعمال کیا جا سکتا ہے، اور مرمت کے وقت بھی پیشن گوئی کی جا سکتی ہے۔
اس کی وجہ یہ ہے کہ پروسیسنگ کے دوران درجہ حرارت کو مستحکم رکھنا بہت ضروری ہے؛ کیوں کہ لائن پر وقت بہت قیمتی ہے۔ اس طریقے سے، درجہ حرارت کو جلدی ہی مطلوبہ سطح پر لایا جا سکتا ہے، اور زیادہ یا کم کیورنگ کی وجہ سے نقصان کم ہو جاتا ہے۔ بجلی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ انفراریڈ صرف ہدف کو ہی گرم کرتا ہے، نہ کہ اس کے ارد گرد کے حصوں کو۔ پروسیسنگ کے دوران درجہ حرارت کو مستحکم رکھنے سے، مصنوعات کی کوالٹی بہتر رہتی ہے۔
ایک اہم نکتہ یہ ہے کہ انفراریڈ کی کارکردگی، لوڈ کی ایمیسیویٹی اور ریفلیکٹیویٹی پر منحصر ہے۔ کوٹڈ سبسٹریٹس اور ملٹی لیئر سٹیکس کے لئے، پروسیسنگ سے پہلے ایک تیز تھرمل کوالیفیکیشن ٹیسٹ ضروری ہے۔ ایک بار جب یہ ٹیسٹ مکمل ہو جائے، تو سسٹم درجہ حرارت کو مستحکم رکھتا ہے – لیکن اگر مختلف مواد کے لئے یکساں نتائج حاصل کرنے ہیں، تو یہ ابتدائی ٹیسٹ ضروری ہے۔