فیبرک لیول پر، فوٹوریزسٹ کو بھوننے یا ویفر کو خشک کرنے کے دوران درجہ حرارت میں تغیرات کوئی نظریاتی مسئلہ نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک حقیقی مسئلہ ہے جس کا اثر پیداوار پر پڑتا ہے۔ 0.5°C کا تغیر بھی پروڈکٹ کی خصوصیات پر اثر ڈال سکتا ہے، اور آہستہ آہستہ درجہ حرارت میں تبدیلی سے حرارتی وسائل ضائع ہو جاتے ہیں۔ انتہائی صاف پانی کو گرم کرنے والے لیمپوں کا استعمال اس بات کو یقینی بنانے کے لئے کیا جاتا ہے کہ پروسیس کے دوران درجہ حرارت مستحکم رہے۔
پروسیس میں کیا اہم ہے؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز کا استعمال کرتے ہیں، جو کوارٹز کے خول میں ہوتے ہیں، اور یہ انتہائی صاف پانی اور فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کے مطابق ہوتے ہیں۔ اس طریقے سے تیز رفتاری سے توانائی منتقل ہوتی ہے، اور حرارت کی مقدار کم رہتی ہے۔ ہدف کے علاقے میں درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور استعمال کے وقت بند لوپ کنٹرول کی بدولت اس کی درستگی برقرار رہتی ہے۔ یہ لیمپ کلاس 1 سے 100 تک کے کلین روموں میں استعمال کئے جا سکتے ہیں، اور ان سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ یہ لیمپ 5,000 گھنٹوں تک مستحکم کارکردگی فراہم کرتے ہیں، اور ان کی شدت میں 5% سے کم تغیر ہوتا ہے۔
یہ پروسیس کے لئے کیوں مناسب ہے؟
ویفر کو خشک کرنے کے دوران، یہ لیمپ پروسیس کا وقت کم کرتا ہے، اور سطحوں کو بالکل صاف رکھتا ہے۔ لیتھوگرافی میں، سافٹ بيک اور ہارڈ بيک پروسیسز کے دوران درجہ حرارت کنٹرول میں رہتا ہے، جس سے پروڈکٹ کی کوالٹی بہتر ہوتی ہے۔ پیکیجنگ میں، تیز رفتار خشک کرنے کی وجہ سے اوون میں وقت کم ہو جاتا ہے، اور پروڈکٹ کی چپکنے کی صلاحیت برقرار رہتی ہے۔ صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، یہ سسٹم ساختوں کو بغیر دوبارہ چپکنے کے خشک کرتا ہے، جس سے فضول مواد کم ہو جاتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ حرارت براہ راست پروسیس میں جاتی ہے، کمرے میں نہیں۔
کن چیزوں پر توجہ دینے کی ضرورت ہے؟
یہ لیمپ موجودہ ویٹ بینچوں اور بیکنگ ٹریکس میں استعمال کئے جا سکتے ہیں، لیکن سبسٹریٹ کی سطح کے ساتھ اس کی درست سمتندریت بہت اہم ہے۔ فلو، پاور ڈینسٹی اور درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کے لئے تیزی سے کام شروع کیا جا سکتا ہے۔ کوارٹز مضبوط ہوتا ہے، لیکن اس کی مناسب دیکھ بھال اور باقاعدگی سے معائنہ ضروری ہے، تاکہ اس کی کارکردگی برقرار رہے۔