لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران 0.2 ڈگری سیلسیس کا فرق بھی لائن ویڈتھ کنٹروول کو خراب کرنے کے لئے کافی ہے، اور اس کے نتیجے میں پیداواری صلاحیت بھی متاثر ہوتی ہے۔ روایتی ہاٹ پلیٹس، حرارتی سطح کو مستحکم رکھنے کی کوشش کرتی ہیں، لیکن زونڈ انفراریڈ ہیٹنگ ہی اس مسئلے کا بہترین حل ہے۔
بنیادی خصوصیات
ہمارا زونڈ انفراریڈ ماڈیول، الگ الگ کنٹرول شدہ NIR عناصر کا استعمال کرتا ہے تاکہ درجہ حرارت کو مختلف زونوں میں منظم کیا جاسکے، اور کناروں سے درمیانی حصے تک کے درجہ حرارت کے فرق کو دور کیا جاسکے۔ اس طرح ویفر پر ±0.1 ڈگری سیلسیس کی سطح پر یکسانیت قائم رہتی ہے، اور سیٹپوائنٹ کی درستگی بھی بہت اچھی ہے، جس سے اہم عملیات میں کوئی خرابی نہیں آتی۔ یہ ہارڈویئر کلین روم کلاس 1-100 کے معیارات کے مطابق تیار کیا گیا ہے؛ کم گیس اخراج والے مواد، سیلڈ آپٹیکس، اور ذرات کو کم کرنے والے ڈیزائن کی وجہ سے، بیکنگ کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور طویل مدتی حرارتی استحکام کی وجہ سے پروڈکٹ کی کارکردگی مستحکم رہتی ہے۔
پیداواری عمل میں اس کی اہمیت
یہ ماڈیول ایسا کنٹرول فراہم کرتا ہے جسے پیمائش کیا جاسکتا ہے۔ “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” عملیات میں کم سے کم اختلافات ہوتے ہیں، جس سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور پیداواری صلاحیت بڑھ جاتی ہے۔ حرارتی ردِعمل بہت تیز ہے، لہذا سائیکل کا وقت کم کیا جاسکتا ہے، بغیر کسی کارکردگی میں کمی کے۔ توانائی صرف اسی جگہ خرچ ہوتی ہے جہاں اس کی ضرورت ہے، جس سے ہر بیچ کی لاگت کم ہوتی ہے۔ کم ویفرز ضائع ہوتے ہیں، الارم بھی کم ہوتے ہیں، اور یہ ماڈیول 24/7 کام کرنے کے دوران بھی بغیر کسی خرابی کے کام کرتا ہے۔
عملی تفصیلات
انسٹالیشن کے لئے چیمبر کے سائز کو مدِنظر رکھنا ضروری ہے، اور موجودہ گیس اور پاور انٹرفیس سے اسے جوڑنا ضروری ہے۔ ہم انٹرفیس کے ڈرائنگز اور تصدیقی پروٹوکول فراہم کرتے ہیں۔ یہ ماڈیول معیاری ویفر ہینڈلنگ سسٹم کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن براہِ راست ڈائیونگ یا ویٹ پروسیسنگ کے لئے مناسب نہیں ہے۔ اپنے پلانٹ کے لئے مناسب بیکنگ پروٹوکولز کو مقرر کرنے کے لئے، ایک مختصر ٹیسٹ رن کرنا ضروری ہے، تاکہ مصنوعات کی کارکردگی کو یقینی بنایا جاسکے۔