Trên sàn sản xuất, một quá trình soft bake ở 90°C với sai số ±0,5°C sẽ ảnh hưởng đến độ đồng đều CD và làm giảm năng suất. Nhiệt độ không phải là một nút điều chỉnh phụ—nó xác định cách mà photoresist hoạt động, cách nó bám dính và liệu mẫu có giữ được hình dạng trong các bước tiếp theo hay không. Khi kiểm soát nhiệt bị lệch, bạn sẽ thấy ngay kết quả: lỗi trên quá trình kiểm tra và lượng công việc sửa lại tăng lên.
Điều quan trọng bên trong Chúng tôi xây dựng bộ gia nhiệt hồng ngoại chính xác dựa trên các nguồn NIR, truyền năng lượng trực tiếp vào silicon và lớp photoresist. Trên bề mặt bake, chúng tôi hướng tới độ đồng đều ở mức ±0,1°C trên toàn wafer, và điểm đặt nhiệt ổn định trong vài giây, không phải vài phút. Hỗ trợ môi trường phòng sạch Class 1–100 với vật liệu ít phát thải khí và thiết kế kiểm soát hạt bụi, duy trì không phát sinh hạt bụi khi vào trạng thái ổn định. Bộ điều khiển giữ dòng nhiệt ổn định, với khả năng lặp lại phù hợp với kiểm soát quy trình thống kê.
Tại sao thiết bị này được ứng dụng trong lithography Các profile soft bake và hard bake ổn định giúp rút ngắn chu trình và giảm lượng phế phẩm. Bạn kiểm soát CD chặt chẽ hơn, giảm lỗi footing và scum, đồng thời có cửa sổ liều lượng đáng tin cậy. Tiêu thụ năng lượng giảm vì phần tử NIR chỉ đốt nóng theo yêu cầu—thời gian làm nóng tối thiểu, không có khối lượng buồng dư thừa cần gia nhiệt. Thời gian hoạt động thực tế là thước đo quan trọng: các thiết bị này chạy 24/7 mà không có thời gian chết ngoài kế hoạch trong sản xuất, và dịch vụ duy trì theo lịch bảo trì phòng ngừa, không phải gọi sửa chữa khẩn cấp.
Điều cần lưu ý Việc tích hợp tương đối đơn giản, nhưng bộ gia nhiệt cần các bề mặt gắn kết tương thích và điện áp ổn định để duy trì phạm vi đồng đều ±0,1°C. Tiến hành hiệu chuẩn kết nối nhiệt với chuck, và đảm bảo bộ điều khiển nhận tín hiệu cảm biến sạch, ít nhiễu. Nếu wafer của bạn có sự biến đổi phát xạ nhiệt cao trên bề mặt, có thể cần điều chỉnh bù vùng. Chúng tôi cung cấp thông số giao diện và quy trình hiệu chuẩn để việc lắp đặt đạt tiêu chuẩn.