Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình sấy wafer hoặc xử lý chất bảo vệ bề mặt không phải là vấn đề mang tính lý thuyết. Đó là yếu tố ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm. Sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C cũng có thể gây ra những thay đổi đáng kể về kích thước các chi tiết trên wafer. Việc điều chỉnh nhiệt độ một cách chậm rãi sẽ làm tiêu hao nguồn nhiệt cần thiết cho quy trình. Những chiếc đèn sưởi dùng nước siêu tinh khiết được sử dụng để duy trì nhiệt độ trong khoảng cho phép trong suốt quy trình sản xuất.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng các bộ phát ánh sáng hồng ngoại tần số cao được đặt trong vỏ thủy tinh, sao cho phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của nước siêu tinh khiết và chất bảo vệ bề mặt. Điều này giúp truyền năng lượng một cách trực tiếp và nhanh chóng, với lượng nhiệt tạo ra gần như bằng không. Độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Độ lặp lại của quy trình được đảm bảo nhờ hệ thống kiểm soát khép kín ngay tại điểm sử dụng. Các bộ phận của đèn được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch, từ cấp độ 1 đến 100. Chúng không tạo ra bất kỳ hạt nào trong quá trình hoạt động, và đường dẫn chất lỏng được đảm bảo kín để tránh hiện tượng rò rỉ ion. Các thiết bị này có thể hoạt động ổn định trong hơn 5.000 giờ, với mức độ thay đổi cường độ ánh sáng dưới 5%.
Tại sao chúng phù hợp với quy trình sản xuất Trong quá trình sấy wafer, đèn giúp rút ngắn thời gian xử lý, đồng thời giúp bề mặt wafer luôn sạch sẽ. Trong quy trình in ảnh, việc kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác giúp cải thiện chất lượng sản phẩm. Trong quy trình đóng gói, việc sử dụng đèn giúp rút ngắn thời gian sấy mà không ảnh hưởng đến khả năng dính kết của các thành phần trên wafer. Trong quy trình làm sạch và sấy, hệ thống này giúp làm khô các cấu trúc trên wafer mà không gây ra hiện tượng tích tụ chất lỏng, từ đó giảm thiểu lượng sản phẩm bị hỏng và chi phí tái xử lý. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt vì nhiệt lượng được sử dụng trực tiếp vào quy trình sản xuất, chứ không bị lãng phí trong không gian xung quanh.
Những điều cần lưu ý Đèn có thể được lắp đặt trong các thiết bị hiện có, nhưng việc định vị chính xác đèn so với bề mặt wafer là yếu tố then chốt để đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ. Bạn cần có thời gian để điều chỉnh các thông số như cường độ ánh sáng, mật độ năng lượng và nhiệt độ cần thiết. Vỏ thủy tinh của đèn rất bền, nhưng vẫn cần được bảo dưỡng cẩn thận và kiểm tra định kỳ để đảm bảo hiệu suất hoạt động tốt.