سخان أشعة تحت الحمراء متوافق مع الفراغ

Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800

تقليل الهدر في المراحل الأولية من تصنيع أشباه الموصلات: الحقيقة حول استخدام الإشعاع تحت الأحمر
إذا أردنا بالفعل تحقيق أهداف التخفيف من انبعاثات الكربون في مصانع أشباه الموصلات، فعلينا التوقف عن إهدار الطاقة الكبيرة خلال مرحلة التسخين. لفترة طويلة، كان الجميع يستخدمون مجففات كهربائية تقليدية، لكن هذه المجففات غير فعالة.
لذلك، تحولنا إلى استخدام مصابيح الإشعاع تحت الأحمر المتوافقة مع البيئات الفراغية. بدلاً من محاولة تسخين الغرفة الفراغية بأكملها – وهو أمر يؤدي إلى إهدار الطاقة – توجه هذه المصابيح الحرارة مباشرة نحو الرقاقة. إنها طريقة بسيطة للغاية.
كيف يعمل ذلك في البيئة الفراغية؟
في البيئة الفراغية، تصبح الفيزياء معقدة للغاية، لأن عملية التبادل الحراري تختفي تمامًا. كل ما يتبقى هو الإشعاع.
نصمم مصابيح الإشعاع تحت الأحمر بحيث تصدر إشعاعًا ذو موجات قصيرة، وهو ما يسمح بتسخين المادة المستهدفة مباشرة، دون إهدار الطاقة في تسخين جدران الغرفة أو أي غازات موجودة فيها. هذا يجعل العملية أكثر كفاءة.
لكن هناك مشكلة واحدة: بما أنه لا يوجد هواء لنقل الحرارة، فإن سطح المصباح يسخن بسرعة كبيرة. للحفاظ على نظافة البيئة الفراغية، نستخدم أغلفة من الكوارتز ذات النقاء العالي. إذا استخدمنا كوارتزًا رخيصًا، فسيحدث تسرب للغازات، وهو ما يؤدي إلى تلوث الرقائق السيليكونية.
كما يجب أن نكون حذرين للغاية بشأن القدرة الكهربائية المستخدمة. بدون هواء لتبريد الأجزاء، لا يمكن للرقاقة أن تتخلص من الحرارة الزائدة. إذا زدنا القدرة الكهربائية أكثر من اللازم، فسيتم تدمير الرقاقة.
توفير الطاقة والمساحة
أكبر ميزة في استخدام مصابيح الإشعاع تحت الأحمر هي سرعة الوصول إلى درجة الحرارة المطلوبة. المجففات الكهربائية التقليدية تحتاج وقتًا طويلاً للتسخين، وهو أمر مشابه لانتظار فرن قديم حتى يسخن. أما أنظمة الإشعاع تحت الأحمر، فهي تصل إلى درجة الحرارة المطلوبة في ثوانٍ معدودة. هذا يعني أننا نستغرق وقتًا أقل في الانتظار، ووقتًا أطول في معالجة الرقاقات.
بالإضافة إلى ذلك، فإن هذه الأجهزة تحتوي على قدرة كهربائية كبيرة، لكنها تشغل مساحة صغيرة جدًا. هذا يعني أننا يمكننا تقليل مساحة الأجهزة اللازمة للتسخين، وبالتالي توفير مساحة لأجهزة أخرى في الغرفة النظيفة.
العيوب
يجب أن نتذكر أن الإشعاع تحت الأحمر عالي الشدة ليس حلاً سحريًا. فهو يضع ضغطًا كبيرًا على الأسلاك ومصادر الطاقة. عندما نستخدم قدرة كهربائية كبيرة في بيئة فراغية، يجب أن تكون أنظمة التبريد مثالية. إذا فشلت أنظمة التبريد، فإن المصباح سيتلف على الفور، لأنه لا يوجد مكان لتصريف الحرارة.

مسخن أشعة تحت الحمراء لغرفة الفراغ

Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800

في غرفة التنظيف من الدرجة الأولى، يتم وضع رقاقة بحجم 300 مم على اللوح الساخن. يتم تحديد درجة حرارة المادة المستخدمة في عملية الطباعة بناءً على درجة الحرارة نفسها، وليس بناءً على تخمينات. فأي تغير بمقدار 2 درجة مئوية في درجة الحرارة قد يؤدي إلى تغيير في مواصفات الرقاقة، وبالتالي إتلاف الإنتاج الذي تم إنتاجه خلال أسبوع كامل. لذلك، قمنا بتصميم جهاز التسخين بالأشعة تحت الحمراء داخل الغرفة المفرغة، للتخلص من هذه المشكلة.

ما يهم في عملية التسخين يستخدم الجهاز مصادر إشعاع من الكوارتز لتوفير حرارة مباشرة، وذلك بسرعة فائقة. في المنطقة المستخدمة في العملية، تظل درجة الحرارة ثابتة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وتكون دقة التكرار بين المرات المختلفة 0.05 درجة مئوية. يتم صنع جسم الغرفة من فولاذ مقاوم للصدأ من نوع 316L، ويتم لحامه لتقليل انبعاث الغازات، كما أن الغرفة مصممة لتعمل في ظروف فراغ تصل إلى 10^-6 ميجابار. التصميم المتوافق مع معايير غرف التنظيف يضمن عدم تكوّن أي جسيمات، حتى بعد 5,000 ساعة من العمل عند درجة حرارة 250 درجة مئوية. كما أن الجهاز يحتوي على أجهزة قياس حرارية ونظام تحكم يضمن استقرار درجة الحرارة خلال عملية التسخين.

فراغ on Infrared Heat Element Corporation

سخان أشعة تحت الحمراء متوافق مع الفراغ

مسخن أشعة تحت الحمراء لغرفة الفراغ