مصباح التسخين لجهاز التحليل الحراري

Sun, 21 Jun 2026 06:23:41 +0800

في بيئة التصنيع، فإن تغير درجة الحرارة بمقدار 1 درجة مئوية أثناء عملية التسخين يكفي لإحداث تغييرات في الأبعاد الحرجة للرقاقات بمقدار نانومترات. وهذا ليس مجرد مسألة تحمل للخطأ، بل هو مسألة تؤثر على جودة المنتج النهائي. لذلك، عند إجراء عمليات التسخين، لا نريد الاعتماد على التخمينات، بل نحتاج إلى دقة في التنفيذ، وهذا بالضبط ما توفره أضواء التسخين هذه.

ما الذي يُعتبر مهمًا من الناحية التقنية؟ يعتمد النظام على أضواء الأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، مع استخدام عناصر كوارتز سريعة الاستجابة، بحيث يصل الحرارة مباشرة إلى سطح الفيلم والرقاقة. تبقى درجة الحرارة متساوية على سطح الرقاقة بدرجة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية، كما أن الدقة في تكرار العمليات تظل مرتفعة. في غرف التصنيع من الفئة 1–100، يتم تصميم أضواء التسخين بحيث يتم تقليل تكوين الجسيمات إلى الصفر، وذلك باستخدام عدسات مغلقة ومسارات لتقليل انبعاث الغازات. تعمل هذه الأضواء على مدار 24 ساعة في اليوم، مع التحكم الدقيق في درجة الحرارة، وقد تعمل لأكثر من 5,000 ساعة دون أن يقل أداؤها عن 5%.

محلل on Infrared Heat Element Corporation

مصباح التسخين لجهاز التحليل الحراري