শর্ট ওয়েভ ইনফ্রারেড ল্যাম্প সেমিকন্ডাক্টর

Thu, 18 Jun 2026 04:22:43 +0800

ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেক করার সময় ০.১°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তনও উপাদানগুলোর আকারকে ন্যানোমিটার পর্যায়ে পরিবর্তন করতে পারে। এটা কোনো “সহনশীলতা” নয়; বরং এর ফলে উপাদানগুলো নষ্ট হয়ে যায়। আমরা এই অনিশ্চয়তাগুলো দূর করার জন্য শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ল্যাম্প তৈরি করেছি; যাতে ওয়েফারগুলোর আকার সমান থাকে।
শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যবহার করা হয়েছে; কারণ এটা দ্রুত তাপ সরবরাহ করে এবং এর থার্মাল ইনার্শিয়া কম। এর ফলে শক্তি ফিল্মের মধ্যেই যায়, বহনকারী উপাদানগুলোতে নয়। ১৫০/২০০/৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারগুলোতে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যেই থাকে; আর বেকিং প্রক্রিয়ার সময় তাপমাত্রা ০.৫°C এর নিচেই থাকে।
কোয়ার্টজ এনভেলপ ও রিফ্লেক্টরগুলো এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে কণা উৎপন্ন না হয়; ফলে ক্লাস ১–১০০ পরিবেশে কণার সংখ্যা স্থিতিশীল থাকে। ল্যাম্পটি ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে কাজ করতে পারে; আর এর তীব্রতা ৫% এর কম হ্রাস পায়।
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় এর ফলে সঠিক তাপমাত্রায় বেকিং সম্ভব হয়; ত্রুটি কমে যায়, আর CD নিয়ন্ত্রণও সঠিক থাকে। দ্রুত তাপ সরবরাহের ফলে উৎপাদন ক্ষমতা বাড়ে; আর থার্মাল ব্যয় কমে যায়। কারণ ল্যাম্পটি শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুকেই উত্তপ্ত করে, চারপাশের চেম্বারকে নয়।
এটা ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; আর মডিউলগুলো হট-সোয়াপেবল, তাই অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার কোনো সমস্যা নেই।
স্ট্যান্ডার্ড ট্র্যাকে এটা সহজেই ইনস্টল করা যায়; কিন্তু সংবেদনশীল অঞ্চলগুলোতে অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট ও EMI শিল্ডিং-এ মনোযোগ দেওয়া দরকার। বর্তমান তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রকগুলোর সাথে এটাকে সংযুক্ত করুন; তারপর রেজিস্ট স্ট্যাকের সাথে এর কার্যকারিতা যাচাই করুন।
নিয়মিতভাবে রিফ্লেক্টর ও কোয়ার্টজ পরিষ্কার করা দরকার। এভাবেই বছরের পর বছর ধরে ওয়েফারগুলোর আকার সমান থাকে।

তরঙ্গ on Infrared Heat Element Corporation

শর্ট ওয়েভ ইনফ্রারেড ল্যাম্প সেমিকন্ডাক্টর