http://ir-heat-element-corp.com/bn/tags/chamber/ Recent content in Chamber on Infrared Heat Element Corporation Hugo bn Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/bn/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/bn/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ভ্যাকুয়াম চেম্বার ইনফ্রারেড হিটার"></p> <p>ক্লাস-১ ক্লিনরুমে, ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারটি হট প্লেটে রাখা হয়। ফটোরেজিস্টের তাপমাত্রা ইচ্ছানুযায়ী নির্ধারিত হয় না; বরং তাপমাত্রার ভিত্তিতেই নির্ধারিত হয়। পৃষ্ঠের উপর ২°C এর পার্থক্যও CD-গুলোকে নড়িয়ে দিতে পারে; ফলে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া ব্যর্থ হয়ে যেতে পারে। এই সমস্যা দূর করার জন্য আমরা ভ্যাকুয়াম চেম্বারে ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করেছি।</p> <p><strong>হিটারটি কীভাবে কাজ করে?</strong><br> হিটারটি শর্ট-ওয়েভ কোয়ার্টজ এমিটার ব্যবহার করে সরাসরি তাপ সরবরাহ করে; এর প্রতিক্রিয়া মিলিসেকেন্ডের মধ্যেই ঘটে। ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রার ভিন্নতা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর প্রতিবার প্রক্রিয়া চালানোর সময় তাপমাত্রার ভিন্নতা ০.০৫°C এর মধ্যে থাকে। চেম্বারটি ৩১৬L স্টেইনলেস স্টিল দিয়ে তৈরি; এটা ওয়েল্ড করে তৈরি করা হয়েছে যাতে গ্যাস নির্গমন কম হয়। চেম্বারটি ১০^-৬ মিবার ভ্যাকুয়াম পরিবেশে কাজ করতে পারে। ক্লিনরুম-সংগত নির্মাণ ব্যবস্থার কারণে ২৫০°C তাপমাত্রায় ৫,০০০ ঘণ্টা কাজ করার পরও কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। ইন্টিগ্রেটেড পাইরোমেট্রি ও ক্লোজড-লুপ কন্ট্রোল ব্যবস্থার কারণে সঠিক তাপমাত্রা বজায় থাকে।</p>