http://ir-heat-element-corp.com/cs/tags/chamber/ Recent content in Chamber on Infrared Heat Element Corporation Hugo cs Thu, 02 Jul 2026 08:50:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Infračervený ohřívač vakové komory"></p> <p>V čisté místnosti třídy 1 se na horkou desku umisťuje wafer o velikosti 300 mm. Fotorezistent se upravuje pomocí teploty, a ne na základě domněnek. Rozdíl teploty o 2 °C na povrchu může způsobit posun CD, narušení vrstvy použité při litografii a zničení výsledků práce za celý týden. Vytvořili jsme infrazářiční topení do vakuumové komory, abychom odstranili potřebu odhadování.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř komory</strong> Topení využívá krátkovlnné křemenné emitory pro přímé vyzařování tepla – reakce probíhá během několika milisekund. Na celé ploše waferu je rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost mezi <a href="https://o-yate.net">jednotliv</a>ými procesy je 0,05 °C. Tělo komory je vyrobeno z elektropolstrované nerezové oceli typu 316L, spojené tak, aby se minimalizovalo uvolňování gazů. Komora je schopna udržet vakuum na úrovni 10^-6 mbar. Konstrukce vhodná pro čisté prostory zajišťuje nulovou tvorbu částic, dokonce i po 5 000 hodinách provozu při teplotě 250 °C. Integrovaná pyrometrie a řízení v uzavřené smyčce zajišťují stabilitu teploty během procesů soft bake a hard bake.</p>