http://ir-heat-element-corp.com/cs/tags/laminov%C3%A1n%C3%AD/ Recent content in Laminování on Infrared Heat Element Corporation Hugo cs Fri, 05 Jun 2026 04:12:28 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ Fri, 05 Jun 2026 04:12:28 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Tepelné zařízení pro laminaci suchých filmových rezistů"></p> <p>Na lince způsobuje laminovací topné zařízení, které se i při minimálním odchylce odchyluje, proměnu tloušťky <a href="https://o-yate.com">fotorezistu</a> v loterii. Vidíte to na propojených stopách, podélných pruzích a wafery, které se po vyvolání vyřazují. Naše laminovací topné zařízení pro suché filmové rezisty bylo navrženo tak, aby tuto variabilitu odstranilo z rovnice. Protože v tomto oboru se výtěžnost měří v nanometrech, nikoli v názorech.</p> <p>Pákou je teplota. Výsledkem je uniformita. Používáme infračervené prvky krátkých vlnových délek se zpevněnou termální dráhou z křemenného skla, takže teplo dopadá rychle a směrově, s minimálním zpožděním. V laminovací zóně udržujeme uniformitu na úrovni waferu na ±0.1°C a opakovatelnost zůstává v rámci ±0.2°C cyklus po cyklu. Celý systém je navržen pro provoz v čistých prostorách třídy 1–100: materiály s nízkým výparem, architektura, která neuvolňuje částice, a uzavřená termální komora, která udržuje kontaminaci mimo procesní okno.</p>