http://ir-heat-element-corp.com/cs/tags/vakuum/ Recent content in Vakuum on Infrared Heat Element Corporation Hugo cs Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Vakuumově kompatibilní infračervený ohřívač"></p> <h1 id="omezení-plýtvání-v-polotovarech-pravda-o-infračerveném-ohřevu">Omezení plýtvání v polotovarech: Pravda o infračerveném ohřevu</h1> <p>Pokud chceme skutečně dosáhnout cílů uhlíkové neutrality v továrnách na polovodiče, musíme přestat plýtvat tolika energií během tepelné fáze. Dlouho všichni používali klasické rezistivní ohřívače. Ale problém je v tom, že tyto ohřívače jsou neefektivní.</p> <p>Přešli jsme na infračervené lampy kompatibilní s vakuumem. Místo toho, abychom snažili se ohřát celou vakuovou komoru – což je naprostá ztráta energie – tyto lampy směřují teplo přímo na čip. Jednoduché.</p> <h2 id="jak-to-ve-skutečnosti-funguje-ve-vakuu">Jak to ve skuteč<a href="https://o-yate.net">nosti</a> funguje ve vakuu</h2> <p>Ve vakuu je fyzika divná – konvekce prostě zmizí. Zbývá jen záření. Naše infračervené lampy jsou navrženy tak, aby vydávaly krátkovlnné záření. To proniká přímo do cílového materiálu, aniž by se plýtvala energií na ohřev stěn komory nebo jakéhokoli plynu, který tam zůstal. Tím se celý proces zefektivňuje.</p> http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Infračervený ohřívač vakové komory"></p> <p>V čisté místnosti třídy 1 se na horkou desku umisťuje wafer o velikosti 300 mm. Fotorezistent se upravuje pomocí teploty, a ne na základě domněnek. Rozdíl teploty o 2 °C na povrchu může způsobit posun CD, narušení vrstvy použité při litografii a zničení výsledků práce za celý týden. Vytvořili jsme infrazářiční topení do vakuumové komory, abychom odstranili potřebu odhadování.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř komory</strong> Topení využívá krátkovlnné křemenné emitory pro přímé vyzařování tepla – reakce probíhá během několika milisekund. Na celé ploše waferu je rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost mezi <a href="https://o-yate.net">jednotliv</a>ými procesy je 0,05 °C. Tělo komory je vyrobeno z elektropolstrované nerezové oceli typu 316L, spojené tak, aby se minimalizovalo uvolňování gazů. Komora je schopna udržet vakuum na úrovni 10^-6 mbar. Konstrukce vhodná pro čisté prostory zajišťuje nulovou tvorbu částic, dokonce i po 5 000 hodinách provozu při teplotě 250 °C. Integrovaná pyrometrie a řízení v uzavřené smyčce zajišťují stabilitu teploty během procesů soft bake a hard bake.</p>