http://ir-heat-element-corp.com/cs/tags/vlna/ Recent content in Vlna on Infrared Heat Element Corporation Hugo cs Thu, 18 Jun 2026 04:22:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ Thu, 18 Jun 2026 04:22:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Polovodičová lampa pro krátkovlnné infračervené světlo"></p> <p>V prostředí výroby může odchylka o 0,1 °C během zahřívání fotorezistu způsobit změny kritických rozměrů v řádu nanometrů. To není „tolerance“ – to znamená odpad. Naše červenofialové žároviky byly navrženy tak, aby tuto nejistotu eliminovaly, takže jednotnost na úrovni waferů je zaručena, a ne jen doufáním.</p> <p>Jádrem žároviku je červenofialové světlo – vybráno proto, že rychle zahřívá celý objem materiálu s nízkou tepelnou inercií. Výstupní spektrum světla odpovídá schopnosti fotorezistů pohlcovat světlo, takže energie se dostává přímo do filmu, nikoliv do nosičů. Díky tomu je dosažena jednotnost na úrovni waferů v rozmezí ±0,1 °C u podkladů o rozměrech 150/200/300 mm. Stabilita teploty během zahřívání je nižší než 0,5 °C.</p>