http://ir-heat-element-corp.com/cs/tags/z%C3%B3nov%C3%A1no/ Recent content in Zónováno on Infrared Heat Element Corporation Hugo cs Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/cs/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Modul infračerveného vytápění s rozdělením zón"></p> <p>V <a href="https://henruite.com">prost</a>ředí litografie stačí pokles teploty o 0,2 °C během procesu vypalování fotorezistů k narušení kontroly šířky pruhů a tím i ke snížení míry úspěšnosti výroby. Konvenční topné desky se snaží udržet rovnoměrnost teploty na celé ploše wafru, přičemž zároveň musí dodržovat stanovené termální limity. Řešením je použití zónového infračerveného ohřevu.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř modulu</strong><br> Náš zónový IR modul využívá nezávisle ovládané prvky pro měření teploty v jednotlivých zónách, čímž se okamžitě opravují rozdíly teplot na okrajích a ve středu wafru. Díky tomu dosáhnete rovnoměrnosti teploty na úrovni ±0,1 °C po celé ploše wafru. Hodnota nastavené teploty je dostatečně stabilní, aby byly kritické kroky výroby splněny. <a href="https://goldisgood.com">Hardware</a> je navržen pro provoz v prostředích třídy 1–100: používají se materiály s nízkou emisí plynů, hermeticky uzavřené optické komponenty a konstrukce minimizující vznik částic. Lze očekávat žádnou generaci částic během procesu vypalování a dlouhodobou termální stabilitu, která zajišťuje konzistentní vlastnosti wafru.</p>