Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung mit Hitze zu belasten – es gibt eine bessere Methode, um mit dem Wärmefluss umzugehen.
In den Halbleiterfabriken herrscht ständig ein Kampf: Man muss die Wafer zum Erhitzen bringen – doch man möchte nicht, dass die gesamte Maschine zu einem Ofen wird.
Die meisten herkömmlichen Infrarotlampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Das ist verschwenderisch. Schlimmer noch: Dadurch werden die inneren Wände der Maschine zu riesigen Wärmespeichern. Wenn Ihnen schon einmal jemand beim Wartungsarbeiten die Hand verbrannt hat, weil das Gehäuse Wärme abgab, dann wissen Sie genau, wovon ich spreche.
Unsere Lösung: Goldbeschichtete Quarzlampen.
Wie es eigentlich funktioniert
Betrachten Sie die Goldbeschichtung als Spiegel für Wärme. Anstatt dass die Infrarotenergie zurück in das Gehäuse strahlt, wird sie durch das Gold nach vorne reflektiert. So trifft die Wärme direkt auf das Zielsubstrat. Dadurch entfällt der „Ofeneffekt“ innerhalb der Maschine. Man erhält weiterhin die notwendigen hohen Erhitzungsgeschwindigkeiten – doch der Rest der Ausrüstung bleibt kühl. Das ist eine viel effektivere Methode.
Die Nachteile, die man kennen sollte
Es handelt sich dabei zwar nicht um Magie – doch diese Lampen benötigen hocheffiziente Quarztuben, um die nötigen Temperaturkurven zu erreichen. Da alle Wärme nach vorne geleitet wird, kann die Lampe selbst extrem heiß werden. Es handelt sich dabei um konzentrierte Wärme. Man muss sicherstellen, dass die Kühlfanventilatoren für die benötigte Leistung ausreichen. Wenn man auf die Belüftung verzichtet, besteht die Gefahr, dass das Quarzmaterial weich wird oder die Elektroden zerstört werden.
So richtige Installation
Bei der Installation ist die exakte Ausrichtung das Einzige, was wirklich wichtig ist. Wenn die Lampe nur wenige Grad abweicht, trifft die Wärme nicht auf die Wafer, sondern auf die Wände der Kammer. Verwenden Sie dazu Präzisionshalterungen – schätzen Sie nicht einfach grob ab.
Die gute Nachricht ist: Diese Lampen können direkt als Ersatz für die alten Lampen verwendet werden. Da die Wärme nun gezielter abgegeben wird, kann man eventuell die externe Kühlung reduzieren.
Ein letzter Tipp: Halten Sie die Goldoberfläche sauber. Ein paar Fingerabdrücke oder Schmutzpartikel können Hotspots verursachen – das beschleunigt die Zerstörung der Lampe. Halten Sie die Oberfläche rein, und die Lampe wird lange funktionieren.