Präzisions Infrarotheizung für Elektronik

Thu, 04 Jun 2026 03:37:46 +0800

Auf dem Fertigungsboden führt ein Softbake bei 90°C mit einer Abweichung von ±0,5°C zu einer Verschiebung der CD-Uniformität und mindert die Ausbeute. Die Temperatur ist kein Hintergrundregler – sie bestimmt das Verhalten des Fotolacks, dessen Haftung und ob das Muster im weiteren Prozess stabil bleibt. Wenn die Temperaturregelung schwankt, fällt das schnell auf: Defekte bei der Inspektion und steigender Nacharbeitsaufwand.

Was unter der Haube zählt
Wir haben den Präzisions-Infrarotheizer auf Basis von NIR-Quellen entwickelt, die Energie direkt in den Silizium- und Fotolackaufbau einbringen. Über die Backfläche streben wir eine Wafer-Uniformität von ±0,1°C an, und der Sollwert erreicht in Sekunden, nicht in Minuten, den stabilen Zustand. Reinraumklasse 1–100 wird durch emissionsarme Materialien und ein partikelführendes Design unterstützt, das im stabilen Betrieb keine Partikel erzeugt. Der Regler hält das thermische Budget sauber ein und bietet eine Reproduzierbarkeit, die sich mit statistischer Prozesskontrolle gut verträgt.

Elektronik on Infrared Heat Element Corporation

Präzisions Infrarotheizung für Elektronik